Gebraucht AQUEOUS TECH ECO #9185902 zu verkaufen

WÄSSRIGE TECH ECO ist ein revolutionäres neues System für andere Waferbearbeitung. Diese Ausrüstung mit hohem Durchsatz und geringem Platzbedarf nutzt proprietäre Aqua-Verarbeitungstechnologie und ist in der Lage, mehrstufige Verarbeitungen über alle Arten von Wafern wie Si, GaAs, InP, SoI und FDSOI hinweg durchzuführen. Das System besteht aus vier Hauptkomponenten, dem Vorbehandlungsreaktor auf Chlorbasis, dem Fluorierungsreaktor auf Ozonbasis, dem Oxidationsreaktor auf Plasmabasis und dem Nachbehälter auf Säurebasis. Der chlorbasierte Vorbehandlungsreaktor dient zur Entfernung von Verunreinigungen und nativem Oxid von den Waferoberflächen. Nach der Vorbehandlung werden zur Verbesserung der Haftung nachfolgender Verfahrensschritte Sauerstoff- und wasserstoffbasierte Reste erzeugt. Der Fluorierungsreaktor auf Ozonbasis wird dann genutzt, um eine qualitativ hochwertige Abscheidung von dielektrischen Filmen auf den Wafern zu erreichen. Der Oxidationsreaktor auf Plasmabasis dient zur Verfeinerung der Oberflächengüte des Wafers, bevor er in den Nachbehälter auf Säurebasis gelangt. Die säurebasierte Nachverarbeitung dient zum Wegätzen der dielektrischen Filme. Der Ätzprozess wird sorgfältig überwacht, um sicherzustellen, dass die Oberfläche des Wafers gleichmäßig und fehlerfrei ist. Die abgestimmten Prozessparameter ermöglichen flache und tiefe Ätzoperationen. Nach der Nachbearbeitung wird eine leitfähige Saatschicht und eine Passivierungsschicht auf dem Wafer abgeschieden. Schließlich wird der Wafer überprüft und die Oberfläche auf Beschädigungen oder Mängel überprüft. ECO soll minimale Abfall- und Umweltbelastungen gewährleisten. Es verwendet umweltfreundliche Lösungen für die Vorbehandlung, Fluorierung, Oxidation und Nachbearbeitung. Verschiedene Flüssigkeiten werden ebenfalls gesammelt und wiederverwendet, um Abfälle zu minimieren und eine optimale Behandlung der Wafer während der Verarbeitung zu gewährleisten. AQUEOUS TECH ECO ist ein zuverlässiges und kostengünstiges System, das in einer Vielzahl von industriellen Anwendungen eingesetzt werden kann, darunter Mikroelektronik, Photonik und biomedizinische Geräte. Die hohe Seitenverhältnisätzbarkeit und der geringe Platzbedarf eignen sich besonders für Verpackungen auf Waferebene und MEMS/NEMS-Integration. Mit seinem flexiblen und benutzerfreundlichen Design ist ECO eine ideale Wahl für Waferbearbeitungsvorgänge.