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AQUEOUS TECH Trident XLD
ID: 9258638
Batch cleaner.
WÄSSRIGE TECH Trident XLD ist eine fortschrittliche Waferbearbeitungsanlage, die für die Herstellung von Backend-Halbleitern und für selektive Abscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Es bietet eine einzigartige Kombination von Technologien, die den Durchsatz maximieren, das Kontaminationsrisiko reduzieren und die Prozessumgebung verwalten sollen. Trident XLD basiert auf einer fortschrittlichen modularen Plattform, die auf maximale Flexibilität und Skalierbarkeit ausgelegt ist. Die Plattform besteht aus drei Hauptelementen: dem Wafer-Handling-System, der Abscheidekammer und dem Reinigungs-Subsystem. Die Wafer-Handhabungseinheit überträgt Wafer zuverlässig vom Eingang auf die Ausgangsmodule und hält sie dabei innerhalb der geforderten Qualitätsstufen. Die Abscheidekammer ist für eine präzise, reproduzierbare thermische Umgebung für selektive Abscheidungsanwendungen ausgelegt. Das Reinigungs-Subsystem umfasst einen risikoarmen, kontaminationsfreien, plasmabasierten Prozess zur Reinigung und Entfernung von Partikeln. WÄSSRIGE TECH Trident XLD verfügt auch über eine geschlossene Prozesssteuerungsmaschine, die bis zu acht Achsen mit Präzisionsgenauigkeit steuern kann. Dieses Tool bietet dem Benutzer leistungsstarke Rezepte zur Waferbearbeitung und die Möglichkeit, Parameter innerhalb der Rezepte schnell zu ändern. Die geschlossene Prozesssteuerung ermöglicht eine hochgenaue Schichtdickensteuerung, eine optimale Schichtgleichförmigkeit und ermöglicht eine schnelle Rezepturumstellung und Rezepturoptimierung. Die Abscheidekammer ist mit einer Doppelkammeranordnung für erhöhte Stabilität und Temperaturgleichförmigkeit über die Wafer ausgebildet. Die Kammern sind für die serielle doppelseitige Waferstapelung und den effizienten Diffusionsreaktorzugang optimiert. Das Modell verfügt auch über eine Wasserumwälzanlage, um den Prozess effizient zu kühlen, die Erträge zu verbessern und die Standzeit des Werkzeugs zu verlängern. Neben der fortschrittlichen Technologie verfügt Trident XLD über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), die eine einfache Rezepterstellung und -auswahl ermöglicht. Die GUI bietet den Anwendern detaillierte Prozessinformationen sowie umfassende Fehlerdiagnose- und Korrekturwerkzeuge. Dieses System hilft den Betreibern, Prozessrezepte zu beheben und zu optimieren, um die Werkzeugleistung und die Erträge zu verbessern. AQUEOUS TECH Trident XLD bietet eine leistungsstarke, robuste und zuverlässige Lösung für Backend-Halbleiterherstellung und selektive Abscheidungsanwendungen. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, der modularen Plattform, der geschlossenen Prozesssteuerung und der einfach zu bedienenden grafischen Benutzeroberfläche ist diese Maschine eine ideale Wahl für Hersteller, die ihre Produktionsprozesse optimieren möchten.
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