Gebraucht ASAHI SUNAC AF5400SC #9390976 zu verkaufen

ASAHI SUNAC AF5400SC ist eine leistungsstarke Waferbearbeitungsanlage für gewerbliche und industrielle Anwendungen. Das System ist in der Lage, bis zu 4-Zoll-Wafer mit einer Vielzahl von Wafer-Verarbeitungsfunktionen zu verarbeiten, einschließlich Nassätzen, Trockenätzen, Spin-Ätzen, Photolithographie, Resist-Strippen und anderen wichtigen Prozessen. Das Gerät nutzt eine hochmoderne elektrochemische vertiefte Zellkonfiguration mit einer 5kW, grob einstellbaren ICP-Stromversorgung (induktiv gekoppeltes Plasma). Die Maschine ist in der Lage, parallele, gleichmäßige Plasmabehandlungen über die gesamte Oberfläche des Wafers zu liefern. Seine Zelle verfügt auch über eine Split-Flow-Technologie, um Kreuzkontaminationen verschiedener Gase zu verhindern. Der Kammerdeckel verfügt über einen Schnellöffnungsmechanismus, der einen einfachen Zugang zur Kammer ermöglicht und die Ausbeute und den Durchsatz verbessert. Das Tool verfügt auch über erweiterte Prozesssteuerungs- und Überwachungsfunktionen. Die Vier-Gas-Einlässe sorgen für stabile und reproduzierbare Bedingungen, während eine fortschrittliche Druckanpassung in der Kammer die Prozessbedingungen in Echtzeit anpasst. Dies ermöglicht präzise und genaue Prozessbedingungen, minimiert die Verschmutzung der Kammern und minimiert den Bedarf an häufiger Wartung. Das Modell verfügt auch über eine Reihe von zusätzlichen Sensoren, einschließlich einer Quarzkristall-Mikrowaage, die Ätzraten überwacht und einen konsistenten und reproduzierbaren Prozess gewährleistet. Das Gerät verfügt zudem über zwei hocheffiziente DC-Sputterquellen. Diese Quellen weisen eine sehr gleichmäßige Abscheidung mit minimalem Filmdickenzuwachs an den Rändern auf, was die Verwendung kleinerer Masken bei Ätzprozessen ermöglicht. Dies erhöht die Präzision und Genauigkeit des Systems weiter. AF5400SC ist eine ideale Einheit für eine breite Palette von industriellen und kommerziellen Anwendungen und bietet präzise, hochpräzise Waferbearbeitungsdienste. Die Maschine ist in der Lage, enge Prozesssteuerung, ausgezeichnete Ausbeute und Hochdurchsatzbetrieb, während immer noch sicher und bequem zu verwenden. Durch die Bereitstellung der hochwertigsten Waferbearbeitungsfunktionen ist das Tool die erste Wahl für viele Betreiber in vielen Branchen.