Gebraucht ASTEX AX 7685 #293642868 zu verkaufen
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ASTEX AX 7685 ist eine hochmoderne Waferbearbeitungsanlage für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen wie Reinigung, Beschichtung und Halbleiterherstellung. Das System kann Wafergrößen bis zu 200 mm aufnehmen und ist für die Arbeit mit einer Vielzahl verschiedener Prozesskammern konzipiert, einschließlich Plasmaätz-, Abscheidungs-, Oxidations- und Nassbelichtungssysteme. AX 7685 ermöglicht es Benutzern, Wafer schnell und effizient zu bearbeiten und gleichzeitig eine hervorragende Präzision und Kontrolle zu gewährleisten. Die Einheit besteht aus vier Hauptkomponenten: der Mehrzonen-Lineartransportmaschine (LTS), Plasmaätzkammer, Hochwasserkammer und Prozesskammer. Das LTS ist so konzipiert, dass Wafer sicher und zuverlässig durch das Werkzeug transportiert werden können, wodurch die Gefahr einer Kreuzkontamination vermieden wird. Die Plasmaätzkammer nutzt die mit der plasmabasierten Verarbeitung verbundenen höheren Ätzraten, um die Ätzgleichmäßigkeit zu verbessern und die Merkmalskanten zu reduzieren. Die Flutkammer verwendet eine Reihe von LEDs, um eine konsistente Prozeßlithographie auf dem Wafer zu gewährleisten. Schließlich ermöglicht die Prozesskammer eine Temperatur-, Druck- und Prozessrezeptkontrolle und bietet Anwendern maximale Flexibilität für die Waferbearbeitung. ASTEX AX 7685 bietet innovative Funktionen, um sicherzustellen, dass Wafer konsequent in höchster Qualität verarbeitet werden. Das Asset verfügt über eine nutzbare Prozessfläche von 800 cm2 mit einer Präzision von ± 2,5µm und bietet Anwendern höchste Auflösung und Genauigkeit. Darüber hinaus soll das Modell die Auswirkungen der Umweltverschmutzung wie Luft-Staub-Partikel, statische Elektrizität und Vibration während der Waferbearbeitung reduzieren. Um höchste Sicherheit und Genauigkeit zu gewährleisten, verfügt die Ausrüstung außerdem über ein umfassendes Überwachungssystem zur Verfolgung von Prozessdaten und Sicherheitsalarmen auf Waferebene. AX 7685 ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Waferbearbeitungssystem, das für die Arbeit in Serienumgebungen entwickelt wurde und gleichzeitig höchste Präzision und Genauigkeit gewährleistet. Das Gerät kann auf die spezifischen Anforderungen der Anwendung des Anwenders zugeschnitten werden, um maximale Flexibilität und Kosteneffizienz zu gewährleisten. Mit seiner Fähigkeit, große und kleine Wafer zu verarbeiten, ist ASTEX AX 7685 eine perfekte Wahl für diejenigen, die ihre Wafer-Verarbeitungskapazität erhöhen und ihre Waferqualität verbessern möchten.
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