Gebraucht AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT Microjet D/C #9256486 zu verkaufen

AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT Microjet D/C
ID: 9256486
Weinlese: 2008
In-line cleaner 2008 vintage.
AAT Microjet D/C ist eine umfassende Waferbearbeitungsanlage, die auf die Bedürfnisse von Halbleiteranwendungen zugeschnitten ist. Es ist ein innovatives integriertes System, das maximale Betriebszeit und Effizienz bei der Herstellung von Silizium- oder Verbundhalbleiterbauelementen ermöglicht. Das Gerät ist mit fortschrittlichen Prozesswerkzeugen ausgestattet, einschließlich Spin Coater, Ätzer und Trockner, wodurch eine breite Palette von Abscheidungs- und Härtungskonformität vor, während und nach der Waferbearbeitung ermöglicht wird. AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY Microjet D/C verwendet fortschrittliche, patentierte MicroJet-Technologie, um eine unübertroffene Präzision beim Abscheiden und Aushärten dünner Filme auf Wafern zu erreichen. Diese Technologie bietet eine sehr gleichmäßige Dicke - so dünn wie 500nm - mit Schichten aus gleichmäßigem, hochwertigem Dielektrikum. Darüber hinaus maximieren die jettbaren Luftströme die Gleichmäßigkeit der Folie an den Rändern des Wafers und minimieren die Partikelverunreinigung. Darüber hinaus bietet die Maschine eine umfassende Prozesssteuerungssuite zur Optimierung der Waferbearbeitung. Die Suite ermöglicht es den Betreibern, wichtige Leistungsindikatoren zu überwachen, die Abscheidungsrate für verschiedene Arten von Wafern zu optimieren, die Gleichmäßigkeit des Gasflusses zu gewährleisten und Informationen zur Filmqualität in Echtzeit anzuzeigen. Die Suite erleichtert auch die Integration mehrerer In-Line-Analysetools, um eine bessere Kontrolle und Rückverfolgbarkeit zu ermöglichen. Diese Analysewerkzeuge umfassen Spektrometer, Partikelzähler, FTIR und Raman-Spektrometer. Darüber hinaus hält das Tool strenge Umweltstandards aufrecht, indem es eine eingebaute Abfallbehandlungsanlage, einen Generator und einen Luftwäscher umfasst. Das Abfallbehandlungsmodell gewährleistet die sichere Entsorgung von Gefahrstoffen, während Generator und Luftwäscher dafür sorgen, dass die Geräte mit den regionalen Emissionsvorschriften kompatibel sind. Insgesamt ist AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT Microjet D/C eine umfassende, zuverlässige Lösung für eine effiziente und effektive Waferbearbeitung. Die fortschrittlichen Prozesswerkzeuge, eine umfassende Prozesskontrolle und strenge Umweltstandards garantieren, dass alle mit diesem System verarbeiteten Wafer die Qualität erhalten und die Sicherheitsvorschriften einhalten.
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