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BRANSON Benchmark ist eine spezialisierte hochpräzise Nass- und Trockenätzausrüstung, die außergewöhnliche Leistung in Halbleiter- und anderen Waferbearbeitungsanwendungen bietet. Dieses System ist in der Lage, präzise Ätzergebnisse und robuste Wafersubstrate zu liefern, die extrem langlebig und korrosionsbeständig sind. Benchmark nutzt sowohl ein Hochleistungsvakuum als auch ein elektrisch unterstütztes Ätzen, was zu hoch optimierten Ergebnissen führt. Der Vakuumätzprozess beginnt mit dem präzisen Aufbringen ausgewählter Ätzchemikalien auf die Waferoberfläche. Dies geschieht mit präzisen Zeit- und Steuerparametern, die angepasst werden, um ein optimales Leistungsniveau zu erreichen. Der Wafer wird dann einer Vakuumumgebung ausgesetzt, die das Aufziehen der Ätzchemikalien in das Substrat bewirkt, seine Zusammensetzung effektiv verändert und eine stärkere Kontrolle des Ätzprozesses ermöglicht. Der Vakuumätzprozess ist hochgenau, so dass sehr präzise Ätzmuster erzeugt werden können. Der elektrisch unterstützte Ätzprozess soll die Ätzleistung der BRANSON Benchmark Einheit verbessern. Dieses Verfahren verwendet eine Kombination aus elektrochemischen und chemischen Badätztechniken, was zu einem effizienteren und kontrollierten Prozess führt. Dabei wird ein gleichmäßiges elektrisches Feld an die Waferoberfläche angelegt, wodurch die Ätzchemikalien in Richtung des gewünschten Musters oder Merkmals wandern. Dieser Prozess führt auch zu einer stärkeren Kontrolle des Ätzprozesses, was genauere und konsistentere Ergebnisse ermöglicht. Benchmark ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten und Materialien zu handhaben, darunter Metalle, Keramik, Kunststoffe, Glas und viele andere Arten von Materialien. Die Maschine kann für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden, wie Dick- oder Dünnschichtätzen, Korrosionsprüfung, Beschichtung, Tiefätzen und vieles mehr. BRANSON Benchmark bietet auch eine Reihe von Verarbeitungsfunktionen, einschließlich In-situ-Messtechnik, automatisierte Oberflächenvorbereitung und fortschrittliche Fehlererkennungssysteme. Insgesamt ist Benchmark eine ausgezeichnete Wahl für Nass- und Trockenätzanwendungen in der Halbleiter- und anderen Spezialindustrien. Mit seinen fortschrittlichen Vakuum- und elektrisch unterstützten Ätzprozessen kann das Werkzeug eine umfangreiche Palette komplizierter und komplexer Ätzmuster mit überlegener Präzision und Wiederholbarkeit erzeugen. Es ist eine äußerst zuverlässige und robuste Ätzanlage mit einer branchenüblichen Erfolgsbilanz.
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