Gebraucht CREST Optimum #9131750 zu verkaufen
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ID: 9131750
Wafergröße: 10"
Ultrasonic precision cleaning system, 10"
With DI water heater
Ultrasonic wash tank with overflow
Spray rinse
Spray over ultrasonic Immersion rinse tank
Cascading spray
Ultrasonic immersion rinse tank
Hot air dryer (hepa filtration)
Tank 1:
Ultrasonic generators (Crest Unit)
(2) 500W, 68 kHz
Crest genesis
Model 6G-500-G-T
Tank 2:
(2) 500W, 132 kHz
Powersonics
Model MW500 GTV / 132
Tank 3:
Has power supply
Transducers installed
Wired as for Powersonics
(2) Plug in generators.
CREST Optimum ist eine hochmoderne Waferbearbeitungsanlage, die optimale Leistung für die Silizidherstellung und andere Halbleiteranwendungen bietet. Es besteht aus einer Reihe von Hardware- und Softwaresystemen, darunter eine Roboter-Workstation, ein Ladesystem und eine Reihe fortschrittlicher Prozessmodule. Das Gerät bietet einen hohen Durchsatz, maximale Flexibilität und präzise Kontrolle über alle Wafer-Fertigungsprozesse und stellt sicher, dass Kunden Produkte von höchster Qualität und Zuverlässigkeit produzieren können. Der Roboterarbeitsplatz der Maschine bildet den Kern von Optimum Tool. Es ist mit fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen ausgestattet, die das Be- und Entladen von Wafern ohne manuellen Eingriff ermöglichen. Diese Workstation unterstützt bis zu 12 Prozessmodule für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter Reinigungs-, Messtechnik- und Ätzprozesse. Darüber hinaus schützen die integrierten Sicherheitsverriegelungssysteme den Betreiber vor Gefahrensituationen. Das Modell ist auch mit einer Ladeschloss-Ausrüstung ausgestattet, die Zugang zu einer Umgebung bietet, die von der Hauptkammer getrennt ist. Dadurch können Proben präzise und effizient in die Kammer des Roboterarbeitsplatzes geladen werden. Das Lastschlosssystem umfasst eine integrierte Vakuumeinheit sowie eine Inertgasfördermaschine zur Steuerung der Atmosphäre innerhalb der Kammer. CREST Optimum beinhaltet auch eine Reihe fortschrittlicher Prozessmodule. Das amorphe Silizium-Modul ermöglicht eine präzise Kristallisation von dünnen Schichten bei hohen Durchsätzen, während das CMP-Modul (Chemical Mechanical Polishing) ultraglatte Oberflächen für Fertigungsanwendungen bietet. Darüber hinaus bietet sein Epitaxiemodul die schnelle Herstellung von Verbundhalbleiterbauelementen und sein RTA-Modul (Rapid Thermal Annealing) bietet erweiterte Heiz- und Kühlfunktionen, die eine hohe Durchsatzleistung ermöglichen. Neben seinen Hardwarefunktionen verfügt Optimum Asset über eine umfassende Software-Suite, die eine fortschrittliche Überwachung und Steuerung der Prozessmodule des Modells ermöglicht. Dazu gehört ein integrierter Rezept-Manager, mit dem Benutzer individuelle Rezepte für Fertigungsprozesse erstellen und speichern können, sowie eine Prozessdatenerfassungs- und Protokollierungsausrüstung, die einen umfassenden Überblick über die Leistung des Systems in Echtzeit bietet. Die CREST Optimum Einheit wurde entwickelt, um eine optimale Lösung für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen zu bieten. Sie bietet überlegene Leistung, maximale Flexibilität und beispiellose Präzision. Seine leistungsstarke Suite an Hardware- und Softwaresystemen transformiert den Prozess der Erstellung komplexer Halbleiterbauelemente und ermöglicht es Kunden, auf kostengünstige Weise beispiellose Ergebnisse zu erzielen.
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