Gebraucht CRYSTAL Clean 960S #9301056 zu verkaufen

CRYSTAL Clean 960S ist eine eigenständige, andere Waferbearbeitungsanlage, die für die Arbeit mit einer breiten Palette von Chemikalien und Prozessen entwickelt wurde, einschließlich ISO-1, ISO-4 und UFG/UHE-Reinigung. Unter Einbeziehung eines thermochemischen Prozesses ermöglicht das System eine effiziente und effektive Reinigung. Die Single-Wafer-Einheit bietet Betriebstemperaturen von bis zu 150 ° C und einstellbare Zeiträume von einer bis sechzig Sekunden und steuert automatisch Parameter wie Temperatur, Zeit und Rampenzeit. Die Maschine ist mit einem effizienten Materialhandhabungswerkzeug ausgestattet, das die Wafer von der Ladestation in die Reinkammer, dann von der Kammer in die Trockenstation bewegt und gleichzeitig eine Entladung des Wafers in mittlerer Reihenfolge ermöglicht. Die Edelstahlkammer kann bis zu 25 Wafer gleichzeitig aufnehmen, da sie sowohl für 100 als auch für 200 mm Waferdurchmesser ausgelegt ist. Darüber hinaus verfügt die Kammer über eine einzigartige Konstruktion, die einen höheren Temperaturbetrieb und eine bessere Reinigungsleistung ermöglicht, dank ihres vibrationsfreien Betriebs und der Einführung von Düsen, wodurch zahlreiche Gasströme entstehen, die alle Oberflächen des Wafers gleichzeitig bedecken. Clean 960S bietet eine Reihe von Funktionen, die Benutzersicherheit und Prozesssicherheit gewährleisten. Jedes Programm kann bis zu 99 Prozesszyklen protokollieren, wobei bis zu vier Rezepte im Speicher des Assets gespeichert sind. Das Modell verfügt über einen Verriegelungsmechanismus, um unbeabsichtigte Änderungen der gespeicherten Rezepte zu verhindern, während jeder Workflow elektromechanisch gesichert ist. Darüber hinaus bieten die automatischen Sicherheitsventile, die Trägheitssicherheitsverriegelung, die Filtermatte und der Durchflusssensor des Geräts zusätzliche Garantien für die Sicherheit des Benutzers. Aus Anwendersicht ist CRYSTAL Clean 960S mit einem ergonomischen Touchscreen-Panel und einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche ausgestattet. Die leicht austauschbaren Patronen und Düsen des Systems erleichtern eine schnelle und einfache Reinigungswartung. Nicht zuletzt erhält das Gerät eine vollständige CE-Zertifizierung, d.h. Qualität, Zuverlässigkeit und Sicherheit werden über die Mindestanforderungen hinaus erfüllt.