Gebraucht DSC GROUP DSC 104 #9395307 zu verkaufen

DSC GROUP DSC 104 ist eine „Other Wafer Processing“ -Ausrüstung, die entwickelt wurde, um Waferbearbeitungsunterstützung für die Herstellung von integrierten Schaltungen bereitzustellen. Es ist ein vielseitiges System, das für epitaktische Schichtabscheidung, chemisch-mechanisches Polieren (CMP) der Waferoberfläche und für andere verwandte Anwendungen verwendet wird. Es kann auch für Geräte Burn-in, Micropatterning, optische Inspektionen und Chip-Tests verwendet werden. DSC 104 ist mit einer Reihe von Komponenten ausgestattet, die es ermöglichen, eine breite Palette von Waferprozessen durchzuführen. Zum einen enthält das Gerät eine Hochvakuumkammer sowie eine heliumbetriebene Ionenquelle und Elektronenkanone, die es der Maschine ermöglichen, dünne Schichten aus epitaxialem Material auf der Oberfläche des Wafers abzuscheiden. Zweitens ist das Werkzeug mit einem chemisch-mechanischen Polierkopf (CMP) ausgestattet, wo das Substrat benetzt oder trockenpoliert werden kann. Dies ist ein wichtiger Schritt im Herstellungsprozess, da dadurch die Waferoberfläche exakt ausgerichtet werden kann. Darüber hinaus enthält das Asset noch einige weitere Komponenten wie eine halbautomatische Waferbearbeitungsstation sowie mehrere Inspektionsstationen (einschließlich Mikroskop, Bildsensoren und Laser-Scan-Systeme). Jede dieser Komponenten ist in eine modulare Modellarchitektur integriert, die eine einfache und effiziente Übertragung von Daten und Informationen zwischen den verschiedenen Modulen ermöglicht. DSC GROUP DSC 104 umfasst auch verschiedene Prozesssteuerungs- und Rückkopplungssysteme, die eine engmaschige Steuerung der Waferabscheidungs- und Polierstufen des Prozesses ermöglichen. Dies wird durch den Einsatz mehrerer Sensoren, wie Druck- und Temperatursensoren, sowie eines Frequenzumrichters erreicht, der zur präzisen Steuerung des Ionenstrahlstroms dient. Der Frequenzumrichter dient auch zur Regelung und Überwachung anderer Prozessparameter, wie der Materialabscheiderate. Insgesamt ist DSC 104 eine vielseitige Ausrüstung, die für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsvorgängen verwendet werden kann. Es ist mit engen Prozesskontroll- und Feedback-Systemen sowie mehreren Inspektionsmodulen und Waferbearbeitungsstationen konzipiert, was es zu einer idealen Lösung für Produktionsumgebungen macht. Der modulare Aufbau des Systems macht es einfach zu aktualisieren und anzupassen, so dass es für eine Vielzahl von Anforderungen in der Elektronikindustrie geeignet ist.