Gebraucht ELMA 660H #9401119 zu verkaufen

ELMA 660H ist eine fortschrittliche automatische Waferbearbeitungsanlage zur umfassenden und wiederholbaren Reinigung von IC-Wafern. Dieses System ist ein 4-Kammer, berührungsloses C + S 400L Modul zur automatischen Reinigung von IC-Waferträgern. Dieses Modul ist der Industriestandard für Wafer bis 6 Zoll Durchmesser. 660H bietet eine breite Palette von Technologien, Prozessen und Handhabung für die Reinigung und Verarbeitung von front- und rückseitig montierten ICs. Mit einer vollständig geschlossenen Einheit mit einstellbaren Kammerchlorkonzentrationen bietet ELMA 660H eine komplette Prozesssteuerung von der einseitigen bis zur doppelseitigen Chargenverarbeitung. Die Kammergrößen von 660H sorgen dafür, dass Wafer unabhängig von Applikation und Oberfläche effizient bearbeitet werden können. ELMA 660H verfügt über eine Wäschereinigungskammer, eine Deglaze-Kammer, eine energetisch verbesserte CMP-Kammer (chemisch-mechanisches Polieren) und eine erweiterte Kontaktreinigungs- und Trockenkammer. Die Wäschereinigungskammer ist zur Entfernung von Partikeln und Verunreinigungen vor der CMP-Verarbeitung ausgelegt. Dieser Reinigungsprozess entfernt Partikel und andere Arten von Verunreinigungen, die sonst die Leistung der ICs behindern könnten. Nach der Nasswäschereinigung wird die Entgasungskammer zur Entfernung eventuell verbleibender Rückstände auf der Waferoberfläche genutzt. Die energetisch verbesserte CMP-Kammer ist mit einer einstellbaren chlorbasierten Konzentrationstemperatur ausgestattet und bietet einen vollautomatischen, wiederholbaren und programmierbaren Oberflächenanpassungsprozess für unterschiedliche Waferdurchmesser. Diese Kammer ist auch in der Lage, in situ mehrstufige CMP der Rückseite des IC. Schließlich dient die berührungslose Reinigungs- und Trockenkammer zur Endspülung und Trocknung des Wafers, ggf. mit einem zusätzlichen Entgasungsüberzug. Entwickelt für flexible Produktion, verwendet 660H automatisierte Systeme zum Be- und Entladen von Trägern und zur Prozesssteuerung. Zusätzlich kann der Maschine ein optionales Ozonreinigungsmodul zugesetzt werden, um Partikel und Rückstände auf der Waferoberfläche weiter zu eliminieren. Darüber hinaus unterstützt das Tool alle gängigen Datenverfolgungsformate, die eine vollständige Rückverfolgbarkeit und Prozessdokumentation ermöglichen. Zusammenfassend ist ELMA 660H eine fortschrittliche, vierkammerige C + S 400L automatisierte Waferbearbeitungsanlage, die für eine umfassende und wiederholbare Reinigung und Verarbeitung von IC-Wafern entwickelt wurde. Mit einstellbaren Kammerchlorkonzentrationen und automatisierten Systemen zum Be- und Entladen von Trägern unterstützt 660H auch alle gängigen Datenfolgeformate zur Prozessrückverfolgbarkeit und -dokumentation.