Gebraucht ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT #9060500 zu verkaufen

ID: 9060500
Weinlese: 2002
Wafer cleaner (10) Stations Software Manuals: installation, operation, maintenance 280V, 3 phase, 100A, 82kVA Pneumatic power supply: 6-7 bar, 1.5Nm3/H 2002 vintage.
ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT ist eine Waferbearbeitungsanlage, die speziell für die Beschichtung empfindlicher Wafer entwickelt wurde, z.B. aus Aluminium, Galliumarsenid, Oxid und Silizium, die eine Vielzahl unterschiedlicher Schichten für integrierte Schaltungen, MEMs, Optoelektronik und andere Anwendungen umfasst. Diese Maschine wuchtet Substrate und Wafer durch Spinnen mit einer patentierten Winkellagertechnologie, die Ungleichmäßigkeit und Hohlräume auf der Oberfläche des Wafers entfernt. Dies ermöglicht maximale Schichtdicke bei Gleichmäßigkeit, Verbesserung der Prozess- und Kosteneffizienz. Mit einem Dispense-Beschichtungskopf mit optionalen Zusatzköpfen und maßgeschneiderten Anpassungen wie Maskenpositionierung ist ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT in der Lage, eine Vielzahl von Aufgaben zu erfüllen, darunter konforme Beschichtung, Flussmittelbeschichtung, Dünnschichtabscheidung und Nanobeschichtungen mit hoher Genauigkeit und Kontrolle. Darüber hinaus bietet das System Kosteneinsparungen dank seiner kurzen Beschichtungslänge, hoher Beschleunigung und Verzögerung sowie Kühltechniken, um die Qualität des Wafers zu erhalten und eine Überhitzung oder Oxidation während der Verarbeitung zu verhindern. ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT ist auch mit Inline-Messtechnik und 3D-Bildgebungssystemen ausgestattet, um Verformungen und Defekte im Wafer zu erkennen. Durch die Beseitigung von Fehlern während des Prozesses kann die Einheit eine hohe Ausbeute und Produktgleichförmigkeit gewährleisten. Es unterstützt auch Echtzeitdaten und die Überwachung von Prozessmetriken wie Durchsatz, Zykluszeit und Fehlerraten, um Präzision zu ermöglichen und Online-Prozessoptimierung zu ermöglichen. Der Bediener kann auch mit Alarmen und Auslösern während des Prozesses und der Einhaltung der Rückverfolgbarkeit und der Aufzeichnungsprozesshistorie versorgt werden. Darüber hinaus verfügt die Maschine über einzigartige Funktionen wie eine fortschrittliche Konnektivitätsplattform und bis zu 8 Substrate sind gleichzeitig mit dem Werkzeug kompatibel. Alle diese Funktionen sind entworfen, um die Effizienz und Qualität der Wafer-Beschichtung kritische Anwendungen zu verbessern. Insgesamt ist ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT eine fortschrittliche Waferbearbeitungsanlage, die präzise und hochwertige Waferbeschichtungsfunktionen bietet, die den höchsten Standards der Branche entsprechen. Es ist benutzerfreundlich, wirtschaftlich und in der Lage, die anspruchsvollsten und anspruchsvollsten Anforderungen zu erfüllen.
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