Gebraucht ELMA X-tra Line 800 #293605217 zu verkaufen

ELMA X-tra Line 800 ist eine „Other Wafer Processing“ -Ausrüstung, die für Ultrahochvakuum- und Hochtemperatur-Vor-/Nachreinigungen geeignet ist. Es handelt sich um eine automatisierte, Einzel-Wafer-Bearbeitungsplattform, die für Wafer mit einem Durchmesser von 150 mm bis 300 mm ausgelegt ist. Dieses System ist mit einem leistungsstarken bürstenlosen Netzteil ausgestattet, das die Reinigungsparameter wie Hochdruckspritzen und Bürstenverarbeitungsfähigkeit steuert. Es verfügt auch über Hochdruck-Plasma-Fähigkeit und Substrat-Speicherfähigkeit. Das Gerät kann die Wafer mittels Ätz-, Abscheide- oder Reinigungsverfahren bearbeiten. Die beiden 300 mm breiten Prozesskammern verfügen über Hochdruckspray, Bürstenbearbeitung und andere Fähigkeiten. Die Maschine ist mit einer Steuerung ausgestattet, die während der Vor- und Nachreinigungsprozesse schnell reagieren kann. Das Werkzeug enthält einen Hochgeschwindigkeits-Scankopf, der bewegliche Inspektionen durchführen kann. Es verfügt auch über ein optisches Mikroskop, um Proben während der Vor- und Nachreinigung zu überprüfen. Die Anlage ist mit einem ergonomisch gestalteten Mikropositionsmodell zur präzisen Platzierung und Positionierung von Wafern ausgestattet. X-tra Line 800 kann mehrere Verarbeitungsschritte in einem einzigen Zyklus durchführen. Es ist mit Advanced Wafer Inspection Equipment (AWIS) und Automated Stage Motion Control (ASMC) für eine erhöhte Prozess- und Wafer-Steuerung ausgestattet. Das System ist für eine einfache Wartung konzipiert, die Komponenten wie Heizungen, Nadeln, Magnete und Filter enthält, die leicht zu wechseln und zu ersetzen sind. Darüber hinaus ist das Gerät durch seinen modularen Aufbau hocheffizient und bietet Kapazität und Flexibilität für verschiedenste Prozesse. Die Maschine ist mit einem flexiblen Prozessüberwachungswerkzeug ausgestattet, das Echtzeitdaten und Trendanalysen liefert. Insgesamt ist ELMA X-tra Line 800 eine automatisierte Single-Wafer-Verarbeitungsplattform, die Hochgeschwindigkeits-Scan- und Prozessfähigkeiten sowie fortschrittliche Waferinspektion und automatisierte Stufenbewegungssteuerung bietet. Es eignet sich für Ultrahochvakuum- und Hochtemperatur-Vor-/Nachreinigungen und verfügt über leistungsstarke bürstenlose Stromversorgung, Hochdruckspray und Bürstenverarbeitungsfähigkeiten. Die Anlage ist für eine einfache Wartung ausgelegt, mit Komponenten wie Heizungen, Nadeln, Magneten und Filtern, die leicht zu wechseln und zu ersetzen sind.