Gebraucht EM TECH BM2424 #293660908 zu verkaufen

EM TECH BM2424 ist eine vollautomatische, multifunktionale Waferbearbeitungsanlage, die für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen wie der Halbleiter- und Mikroelektronikproduktion entwickelt wurde. Das System kombiniert hohe Prozessretentionsfähigkeit mit wiederholbarer, zuverlässiger und genauer Prozesssteuerung, so dass Benutzer eine Vielzahl von Substraten mit einem hohen Grad an Wiederholbarkeit verarbeiten können. BM2424 verfügt über eine 250mm x 250mm x 200mm Prozesskammer, die eine Vielzahl von Wafergrößen von 3 „bis 8“ Durchmesser und 0,8mm bis 8mm Dicke aufnehmen soll. Die Einheit umfasst eine Vielzahl von Prozesskammern, darunter eine Ätzkammer, eine Polierkammer, eine Trockenätzkammer und eine Naßätzkammer. Jede Prozesskammer ist so konzipiert, dass sie die Gleichmäßigkeit des Waferprofils optimiert und die Reinigung, Auswaschung und Vorbereitung für den nächsten Prozessschritt erleichtert. Ein leistungsstarker 20nm Quarzspinner ist im Lieferumfang der EM TECH BM2424 Maschine enthalten. Dieser Spinner ist so ausgelegt, dass er eine gleichmäßige Verteilung der waferassoziierten Materialien ermöglicht, wobei eine mögliche Beschädigung der Waferkante durch die Drehkraft vermieden wird. Der Spinner sorgt auch dafür, dass in der Prozesskammer enthaltene eingeklemmte Gase innerhalb einer bestimmten Zeitspanne entfernt werden, wodurch eine mögliche Verschmutzung der Waferoberfläche vermieden wird. Der Dünnschichtabscheidungsprozess von BM2424 verwendet eine Niederdruck-physikalische Dampfabscheidungstechnik (PVD), mit der Benutzer dünne Filme verschiedener Materialien auf ihren Substraten abscheiden können. Die PVD-Technik nutzt sowohl thermisches als auch elektronenunterstütztes Bombardement, um das Zielmaterial physikalisch zu verdampfen, das dann wieder auf die Waferoberfläche kondensiert wird. Die Dicke der abgeschiedenen Schicht kann in Abhängigkeit von der Wachstumsrate des Zielmaterials genau gesteuert werden. Die In-situ-Endpunkt-Erkennungsfunktionen von EM TECH BM2424 ermöglichen es Benutzern, die Dicke oder Schritthöhe des Dünnfilms während des laufenden Abscheidungsprozesses genau zu ermitteln. Dieses Endpunktdetektionswerkzeug überwacht die Abscheiderate und stoppt den Abscheidevorgang bei Erreichen der gewünschten Filmdicke bzw. Schritthöhe. Die Endpunktparameter können für die spätere Verwendung gespeichert werden und sind leicht für verschiedene Anwendungen anpassbar. Der Wafer-Handling-Roboter von BM2424 ist hocheffizient und auf mindestens 100 Wafer pro Reinigungs- und Prozesszyklus ausgelegt. Der Roboter ist auch in der Lage, eine breite Palette von verschiedenen Arten von Wafern zu handhaben, von weich und empfindlich bis hart und robust. Der Wafer-Handling-Roboter ermöglicht es dem Bediener, die Anzahl der zu bearbeitenden Wafer und die anzuwendenden spezifischen Prozessparameter auszuwählen. EM TECH BM2424 umfasst eine Vielzahl von spezialisierten Prozesskammer Zubehör. Eine integrierte Edelstahl-Auswaschstation ermöglicht es Anwendern, die Prozesskammer vor jedem neuen Prozesszyklus schnell zu reinigen und so höchste Sauberkeit zu gewährleisten. Ein temperaturgesteuerter Übertragungsarm ermöglicht es Benutzern, wichtige Daten schnell und präzise von der Steuerung in die Prozesskammer zu übertragen, wodurch das Risiko von Datenverlusten oder Fehlern reduziert wird. BM2424 ist ein umfassendes und zuverlässiges Waferbearbeitungsmodell, das Anwendern eine Kombination aus Genauigkeit, Wiederholbarkeit und hohem Durchsatz in einer Vielzahl von Branchen bietet. Die intuitive Benutzeroberfläche des Geräts, die automatische Endpunkterkennung und die langlebige Konstruktion machen es zu einer idealen Wahl für Produktionsanforderungen an Halbleiter und Mikroelektronik.