Gebraucht EMC Spirit 30 IPA #9229741 zu verkaufen

EMC Spirit 30 IPA (Inline Processing Application) ist eine hochflexible und agile Produktionsautomatisierungsanlage für die Halbleiter- und Mikroelektronik-Fertigung. Der modulare Aufbau des Systems ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Plattformen der Halbleitertechnik. Die Einheit besteht aus mehreren Komponenten einschließlich einer Robotersteuerung, einer automatischen Wafertransportmaschine und einer hochpräzisen Waferbearbeitungseinheit. Die Robotersteuerung wird von einem integrierten PC angetrieben, der mit mehreren Steuerungsalgorithmen programmiert ist. Diese Steuerung kann das gesamte Wafertransportwerkzeug exakt und zuverlässig synchronisieren und steuern, was einen effizienten und präzisen internen Prozess ermöglicht. Kern des Robotersteuergeräts ist die Roboterlogiksoftware, die komplexe Wafer-Handling-Operationen ermöglicht und vom Bediener an die gewünschten Prozessergebnisse angepasst werden kann. Das Wafer-Transportgut ist so konzipiert, dass Wafer sehr zuverlässig und schnell von einem Schritt der Verarbeitung zum nächsten bewegt werden. Dieses Modell wird durch eine Reihe von vorprogrammierten Sequenzen gesteuert und überwacht die Fahrwege, um die Auslieferung an seinen Bestimmungsort zu gewährleisten. Die Ausrüstung wird mit einer Kombination aus PVC-Stangen, montierten Kugelübertragungen und linearen Aktuatoren gebaut, die zusammen arbeiten, um sicherzustellen, dass Wafer es von ihrem Ursprung zu ihrem Ziel sicher und effizient machen. Die Verarbeitungseinheit ist dort, wo der eigentliche Zielwafer verarbeitet wird. Diese Einheit besteht aus einem Vakuumfutter sowie einer Reihe von Prozesskammern. Die „Optik“ -Kammer ist für das sichere Greifen und Übertragen des Wafers bis zum Zielwafer zur Verarbeitung verantwortlich. Die Bogenzuführer innerhalb der „Feeder“ -Kammer erlauben es, mehrere Waferübertragungen gleichzeitig durchzuführen. Die „Prozess“ -Kammer enthält mehrere physikalische und chemische Prozesse, die bei der Verarbeitung Material auf den Wafer ätzen und abscheiden. Spirit 30 IPA wurde entwickelt, um Kopplung, Schneiden, Würfeln und andere empfindliche mikroelektronische Prozesse zu liefern. Die vielfältigen Werkzeuge, der mechanische Transport und die hochpräzise Verarbeitung machen es zu einer idealen Wahl für jeden Halbleiter- oder Mikroelektronikhersteller. Seine Kapazität für die Verarbeitung einer Vielzahl von Zielscheiben und Produktionsmethoden ermöglicht es, es einfach in bestehende Produktionslinien zu integrieren.