Gebraucht ENTEGRIS Ultra-6102 #9156643 zu verkaufen

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ID: 9156643
Weinlese: 2004
FOUP Cleaning system Return conveyor (1) Spray wash / rinse chamber (2) Dynamic dry chamber Stored in clean room 2004 vintage.
ENTEGRIS Ultra-6102 ist eine vollautomatische Waferbearbeitungsanlage, die entwickelt wurde, um eine Vielzahl von Wafergrößen und -typen schnell und präzise zu bearbeiten. Es ist in der Lage, bis zu 300mm Wafer zu verarbeiten und ist in der Lage, hohe Volumen, hohe Durchsatz Verarbeitung. Das System wurde für erstklassige Präzision und Genauigkeit konzipiert und eignet sich daher für eine Vielzahl von Anwendungen, von Forschungsanwendungen in einer Laborumgebung bis hin zur industriellen Produktionsverarbeitung. Ultra-6102 besteht aus einem Waferlader, Wafer Handler, Prozesskopf und Spinner Montage. Der Waferlader ist eine vakuumgetriebene Einheit, die bis zu 25 Wafer gleichzeitig aufnehmen kann. Die Handler-Komponente verfügt über eine Multi-Kamera-Maschine, die in der Lage ist, die Wafer zur Verarbeitung bereit zu erkennen und genau zu positionieren. Der Prozesskopf ist mit mehreren Werkzeugen für die physikalische und chemische Verarbeitung ausgestattet. Jedes Werkzeug ist unabhängig programmierbar und ermöglicht ein präzises Ätzen und Abscheiden von Materialien. Die Spinner-Baugruppe ist ebenfalls verstellbar und kann Wafer bis 22.000 U/min schnell und präzise drehen. Das gesamte Werkzeug ist auf einer mobilen Plattform montiert, so dass es einfach zwischen Produktionslinien oder Standorten bewegt werden kann. Optional kann das Asset mit einem In-Sysytem-Leistungsmonitor ausgestattet werden, um Effizienz und Output zu verfolgen. ENTEGRIS Ultra-6102 ist ein modernes Waferbearbeitungsmodell, das präzise und präzise Verarbeitungszyklen auf einer Vielzahl von Wafergrößen bereitstellt. Es ist ideal für wissenschaftliche Labore und industrielle Produktionslinien, wo Genauigkeit und Effizienz von größter Bedeutung sind. Die Ausrüstung ist leicht beweglich, so dass es unglaublich vielseitig und bietet ein beispielloses Maß an Flexibilität.
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