Gebraucht ESA Ultima Plus #9097308 zu verkaufen

Die ESA Ultima Plus ist eine moderne Waferbearbeitungsanlage, die Anwendern eine integrierte Lösung für die Halbleiterherstellung bietet. Das System basiert auf der Ultima-Plattform nach Industriestandard und enthält eine Reihe von Funktionen wie Präzisionsantriebsmechanismen, Steuerungssysteme, Bilderfassung und Sichtprüfung. Das Gerät umfasst einen Waferlader, eine Heizung, eine Backstation nach der Belichtung und eine Laserinspektionsmaschine. Je nach Anforderung können bestimmte Werkzeuge wie Critical Dimension Scanning Electron Microscope, Electron Beam Inspection oder Etch Probing der Gerätesuite hinzugefügt werden. Wafer werden unter kontrollierter Temperatur, Feuchtigkeit und Druck in einer dedizierten Umgebung verarbeitet, die einen sauberen und wiederholbaren Herstellungsprozess gewährleistet. Das Werkzeug ist sowohl mit Wafer-Ausrichtung und Wafer-Stiction-Erkennungsfunktionen ausgestattet, um Fehler zu erkennen, die beim Be- oder Entladen verursacht wurden. Die Ausrichtungseinrichtung gewährleistet die Ausrichtung des Wafers in der Bearbeitungskammer, während das Stiktionserfassungsmodell eine Haftung zwischen Wafer und Bearbeitungskammer erfasst und misst. Ultima Plus umfasst auch eine Steuerungseinrichtung zur automatischen Abbildung und Kalibrierung der Verarbeitungsparameter jeder Schicht. Ein automatisiertes Datenerfassungssystem steht auch zur Verfügung, um die Verarbeitungsinformationen jedes Wafers zu speichern und zu verfolgen. Dies ermöglicht die zeitliche Optimierung von Prozessen und reduziert Ausfallzeiten erheblich, indem mögliche Probleme frühzeitig erkannt werden. Darüber hinaus umfasst das Gerät verschiedene Softwarepakete wie SPC (Statistical Process Control), um Anwendern die Produktionsleistung zu überwachen und Prozesse zu optimieren. Dies hilft bei höheren Ausbeuten und erhöhtem Durchsatz. Die Software unterstützt auch die Fernüberwachung der Geräteleistung, die vorausschauende Wartung und frühzeitige Erkennung von Problemen ermöglicht. Die ESA Ultima Plus ist eine vielseitige Plattform, die individuell auf spezifische Anwenderanforderungen zugeschnitten werden kann. Diese Maschine ist ideal für branchenweite Anwendungen und wurde entwickelt, um sicherzustellen, dass Benutzer das Beste aus ihrer Waferbearbeitung herausholen.