Gebraucht GREATSENSE GS-AIR-10 #293670974 zu verkaufen

GREATSENSE GS-AIR-10 ist eine vollautomatische, präzise Waferbearbeitungsanlage für Serienproduktionsprozesse mit hohem Durchsatz. Das System bietet eine Reihe von Funktionen zur Verbesserung des Gesamtdurchsatzes, der Effizienz und der Zuverlässigkeit. GS-AIR-10 ist in der Lage, bis zu 10 Wafer in einem einzigen Bearbeitungszyklus zu handhaben, was eine hohe Durchsatzproduktion ermöglicht. Seine intelligenten, automatisierten Fähigkeiten ermöglichen eine schnelle Anpassung an neue Prozesse und Produkte, wodurch manuelle Eingriffe entfallen. Die Einheit besteht aus zwei Hauptkomponenten; der Portalroboter-Wafer-Handler und die Prozesskammer. Der Portalroboter-Wafer-Handler ist ein mehrachsiger Roboterarm, der eine präzise Handhabung von Wafern in und aus der Prozesskammer ermöglicht. Der Portalroboter kann mit verschiedenen Konfigurationen, z.B. Wafergröße und Orientierung, eingerichtet werden, um verschiedene Wafertypen einfach zu bearbeiten. Die Prozesskammer ermöglicht Temperaturen bis 1000 ° C für Glüh- und Sinterprozesse. Es verfügt über eine integrierte, geräuscharme Vakuummaschine, die eine Anpassung auf Pegel bis zu 10-2 Torr ermöglicht. Das Werkzeug kann nach Kundenwunsch angepasst werden, mit einer Auswahl an prozessspezifischen Vorrichtungen, Waferübertragungskomponenten, Deckenkästen und mehr. GREATSENSE GS-AIR-10 ist für maximale Betriebszeit und Fehleranalyse ausgelegt. Das Steuerelement verfügt über eine Echtzeit-Datenlogging-Funktion, mit der Benutzer Modelldaten überwachen und Fehler schnell erkennen und diagnostizieren können. Darüber hinaus verfügt es über eine fortschrittliche Steuerungsausrüstung mit benutzerdefinierbaren Parametern, wie z. B. thermische Bruchraten. Es ist auch in der Lage, einen automatischen Kammerdruckausgleich für schnelle Rampen-Ausfallzeiten, um den Durchsatz zu optimieren und die Produktivität und Wiederholbarkeit zu erhöhen. Das System ist unter Berücksichtigung von Sicherheit und Umweltschutz konzipiert und verfügt über eine explosionsgeschützte Konstruktion für zusätzliche Sicherheit. GS-AIR-10 ist die perfekte Lösung für fortschrittliche Halbleiterprozesse, die eine präzise Kontrolle von Temperatur, Druck und eine hocheffiziente Einheit für das Wafer-Handling erfordern. Zur zusätzlichen Prozesssteuerung kann die Maschine mit einem automatischen Wafer-Positionsausrichtwerkzeug ausgestattet werden, um die Genauigkeit zu gewährleisten. GREATSENSE GS-AIR-10 bietet einen hohen Durchsatz und zuverlässige Leistung und ist damit die ideale Wahl für die Verarbeitung von Wafern mit hohem Volumen.