Gebraucht HILGER & KERN Vario-mix A1 #9134137 zu verkaufen

ID: 9134137
Weinlese: 1999
System 1999 vintage.
HILGER&KERN Vario-mix A1 ist eine automatisierte Waferbearbeitungsanlage, die eine präzise Steuerung aller wesentlichen Prozessparameter für das volle Wafer-Handling, Backen/Glühen und Dotieren ermöglicht. Dieses System ist für die effiziente und zuverlässige Herstellung von High-End-Halbleiterscheiben ausgelegt. Vario-mix A1 verfügt über eine vollautomatische Handhabungseinheit, die bis zu 40 Wafer pro Tablett auf einmal aufnehmen kann. Wafer werden sanft ohne die Gefahr einer Beschädigung ihrer Oberfläche übertragen. Die Maschine ist mit fortschrittlichen Steuerungsalgorithmen ausgelegt, die einen wiederholbaren und zuverlässigen Prozess gewährleisten. Die grafische Benutzeroberfläche (GUI) des Tools macht es einfach, Prozessparameter zu programmieren und anzupassen, sodass Benutzer schnell optimale Einstellungen festlegen können. HILGER&KERN Vario-mix A1 bietet branchenführende Kristallwachstums- und Dotierungsverfahren. Eine integrierte Hochleistungsimpulsglühanlage (HPA) ermöglicht ein gleichmäßiges und zuverlässiges Glühen von bis zu 15 Wafern auf einmal. Ein fortschrittliches Prozesssteuerungsmodell mit verzögerter Lasererwärmung ermöglicht es den Wafern, allmählich zu kühlen, wodurch das Risiko eines thermischen Schocks eliminiert wird. Mit visualisierter Schichtsteuerung und On-Board-Diagnose bietet HILGER&KERN Geräte höchste Qualität. HILGER&KERN System unterstützt eine breite Palette von Prozesskammern zur Dotierung, einschließlich Flüssigkeitsdoping- und Dampfdopingverfahren, sowie einen automatischen Verschmutzungsinspektor. Darüber hinaus bietet das Gerät fortschrittliche Überwachungssysteme zur exakten Ausrichtung und Positionierung der Wafer. Schließlich verfügt Vario-mix A1 über einen Vakuum-Lecksucher, um mögliche Prozessverunreinigungen zu verhindern. HILGER&KERN Vario-mix A1 ist eine äußerst zuverlässige, sichere und einfach zu bedienende Waferbearbeitungsmaschine, die auf dem Markt erhältlich ist und zur Herstellung fortschrittlicher Halbleiterscheiben mit gleichbleibend hoher Qualität entwickelt wurde. Das Tool bietet eine breite Palette von erweiterten Funktionen und Prozesssteuerungsoptionen, um die Effizienz zu maximieren, was zu maximierten Erträgen und optimierter Produktionszeit führt.
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