Gebraucht JEOL TAM200XM-S #293649787 zu verkaufen

JEOL TAM200XM-S ist eine fortschrittliche, andere Waferbearbeitungsanlage, die sowohl für das Prototyping als auch für die Produktion integrierter Schaltungen verwendet wird. Entworfen von JEOL, einem großen Hersteller von Waferbearbeitungswerkzeugen, ist TAM200XM-S ein automatisiertes System, das bis zu 200mm Wafer handhaben kann. Es nutzt vertikalen, einstufigen Transport, um die Wafer durch seine mehreren Prozesskammern zu tragen, so dass der Benutzer konstant präzise Operationen auf einer Vielzahl von Substraten durchführen kann. Es verfügt über eine Vielzahl von Benutzeroperationen, einschließlich Ätzen, Abscheidung, Ionenimplantation, photolithographische Strukturierung und thermische Oxidation, unter anderem. Darüber hinaus bietet JEOL TAM200XM-S fortschrittliche Kontrollmaßnahmen und Optionen für Temperatur, Druck und Durchfluss, die eine hohe Einstellbarkeit für Prozesse ermöglichen, die es erfordern. Das Gerät ist auch in der Lage, verschiedene Trägereinrichtungen wie Laserinterferometrie und Substratheizungen zu integrieren. Die Maschine verfügt über eine integrierte CVC + -Plattform, die Benutzern Zugriff auf alle primären Wafer-Verarbeitungsfunktionen von einem einzigen Bedienfeld aus bietet. Das CVC + kann auch verwendet werden, um bestimmte Rezepte anzupassen, Zykluszeiten festzulegen, auf korrekte Ausrichtung zu überprüfen und Erträge zu berechnen. Darüber hinaus ist das CVC + in der Lage, den Zustand von Werkzeugen zu überwachen, die Wartung zu planen und Daten zur Fehlerbehebung bei Problemen während der Verarbeitung jedes Wafers zu analysieren. Schließlich nutzt TAM200XM-S auch eine Vielzahl fortschrittlicher Messtechnik-Funktionen, einschließlich optischer Sensor Asset (OSS) und nasser Sonde. OSS ermöglicht die prozessinterne Messung von Wafern während des Prozesses, während nasse Sonde eine breite Palette von Messungen in einem dichten Muster über die Waferoberfläche bietet. In Kombination mit der aufrüstbaren Software JEOL TAM200XM-S können Anwender mit den neuesten Branchenentwicklungen auf dem Laufenden bleiben. TAM200XM-S bietet somit eine fortschrittliche, automatisierte Verarbeitungslösung für Prototyping und Produktion integrierter Schaltungen.