Gebraucht KINETICS MegaFlow II #9160832 zu verkaufen

ID: 9160832
Chemical delivery system With day tank.
KINETICS MegaFlow II ist eine hochmoderne halbautomatische Waferbearbeitungsanlage, ideal für temperaturgesteuerte Prozesse wie Lithographie, Ätzen, Metallisierung, Glühen, Galvanisieren, Diffusion, Reinigung und Montage. Das System wurde mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und einem leistungsstarken Prozessor entwickelt, um einen optimierten und effizienten Workflow mit minimalem menschlichen Eingriff zu ermöglichen. Das Gerät wurde mit einer schlanken Plattform entwickelt, die das Wafer-Handling und den Kassetten-zu-Kassetten-Betrieb erleichtert, um die Zykluszeit zu reduzieren und den Durchsatz zu erhöhen. Es ist in der Lage, bis zu vier 7-Zoll 6- oder 8-Zoll-8-Zoll-Wafer-Tabletts zu unterstützen sowie bis zu 80 Wafer in einem Lauf unterzubringen. Die Maschine bietet zudem ein hohes Maß an Flexibilität mit Standardkonfigurationen, die im Feld aktualisierbar sind. MegaFlow II ist mit anspruchsvollen Sensoren und einer Rückkopplungsplattform für Temperaturgleichmäßigkeit und Prozesssteuerung ausgestattet. Sein modularer Aufbau ermöglicht eine hohe Prozessanpassung auf Wafer-für-Wafer-Basis und bietet zudem eine erhöhte Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Robustheit. Durch prozessintensive Kammerkommunikation erkennt, speichert und passt das Werkzeug die Prozesssteuerungsprofile für jede Kammer automatisch an und liefert so eine unübertroffene Gleichmäßigkeit. Die Anlage ist auch darauf zugeschnitten, die Verschmutzung auf Waferebene zu maximieren und zu minimieren. Dank Reinraumeinbauten und nichtflüchtigem Speicher ist KINETICS MegaFlow II ideal für die ultrapräzise Lithographie. Ein integriertes Softwarepaket ist ebenfalls enthalten, das Modellsteuerung, Datenerfassung, Prozessoptimierung und zeitbasiertes Rezeptmanagement bietet. Was MegaFlow II von anderen Verarbeitungssystemen unterscheidet, ist sein umweltfreundliches Design. Gebaut mit Zertifizierung für geringen Stromverbrauch, beseitigt das Gerät auch potentielles Risiko des thermischen Auslaufs durch die Steuerung von Schlüsselparametern und überwacht alle Systemparameter über eine einstellbare Warn-/Alarmeinheit. Die Maschine ist auch so konzipiert, dass sie mit einer Vielzahl von Flüssigkeiten und Gasen kompatibel ist und eine optimale, wiederholbare und sichere Leistung ermöglicht. Abschließend ist KINETICS MegaFlow II eine ideale Lösung für die anspruchsvollsten temperaturgesteuerten Prozesse von heute. Dank seines innovativen Designs, seiner schnellen Zyklusraten und der anpassbaren Konfigurationen ist das Tool so konzipiert, dass es zuverlässige, sichere und optimale Ergebnisse liefert, was zu einer erhöhten Produktivität und verbesserten Vermögensleistung führt.
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