Gebraucht KINETICS Megapure 6001 HC #9358271 zu verkaufen

KINETICS Megapure 6001 HC ist eine fortschrittliche Waferbearbeitungsausrüstung, die einen hohen Durchsatz und eine hervorragende Leistung in einer vollautomatischen und vielseitigen Konfiguration bietet. Das System umfasst einen 12-Zoll High-Current Melt (HCCM) Reaktor mit einer erweiterten Kristallisation Multi-Düsen-Kristall-Wachstumseinheit, die den Betrieb über einen weiten Bereich von Temperaturbereichen von maximal 350 ° C bis mindestens 300 ° C ermöglicht. Zusätzlich tragen ein 12-Zoll-Hochstromsubstrat und eine beheizte Trägerstufe bis zu drei 12-Zoll-Substrate bis zu 20 KJ/m2. Der 6001 HC verfügt auch über eine Inline-Flüssigkeitszufuhreinheit, die eine präzise Lieferung der notwendigen Saatgutmaterialien, Medien, Dotierstoffe und thermischen Steuerflüssigkeiten zur vollständigen Prozesskontrolle ermöglicht. Die abgedichteten Wärmekammern sorgen während des Prozesses für Sauberkeit und werden mit einem 450 Watt niedrig-thermischen Diffusionsheizer beheizt. Zusätzlich ist die beheizte Oberflächenstufe mit einer Schnellverriegelungsmaschine ausgestattet, die einen schnellen Wechsel und die Ausrichtung von Wafern und Trägern ermöglicht. Das Tool umfasst auch ultraempfindliche Massenstromregler (MFC) mit 5-dezimaler Auflösungsregelung für präzisen Ultrahochtemperatur-Gasstrom sowie mehrachsige Trägheitskraftsensoren. Diese Sensoren ermöglichen eine automatische Temperatur- und Geschwindigkeitsregelung während des Kristallwachstums und ermöglichen eine schnellere und genauere Waferbearbeitung und Produktion von bis zu 500 Wafern pro Stunde. Der 6001 HC wurde entwickelt, um eine hervorragende Leistung in Kombination mit einer Reihe von Sicherheits- und Umweltmerkmalen zu bieten. HMI-Design (Human-Machine Interface) und vollständige Integration mit fab-Tools, Prozessmanagement, Validierung und Fertigungsausführungssysteme ermöglichen eine einfache Bedienung in einer Produktionsumgebung. Eine Vielzahl zusätzlicher Spezialmerkmale wie Toxizitätsüberwachung, Filter- und Flüssigkeitsaustauschmeldung und Prozessvariationsüberwachung sorgen für eine sichere und effiziente Arbeitsumgebung.