Gebraucht KOLB PS 03 #9353306 zu verkaufen
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KOLB PS 03 ist eine Waferbearbeitungsanlage, die für den Einsatz in anderen Halbleiteranwendungen wie Messtechnik, Dünnschichtabscheidung, Verpackung, Drahtbonden und anderen hochpräzisen Aufgaben entwickelt wurde. Das System wurde entwickelt, um zuverlässige und präzise Verarbeitungsfunktionen bei hochvolumigen Montagevorgängen bereitzustellen. PS 03 besteht aus zwei Hauptkomponenten - der Wafer-Handhabungseinheit und der hochpräzisen Bedieneinheit. Die Wafer-Handhabungseinheit besteht aus hochpräzisen piezoelektrischen Aktoren und Drehstufen, die eine präzise und wiederholbare Positionierung und Bewegung des Substrats ermöglichen. Dadurch wird eine genaue Waferausrichtung während der Verarbeitung gewährleistet, die für die Produktion mit hoher Ausbeute und hoher Zuverlässigkeit erforderlich ist. Die Maschine beinhaltet auch Schwingungsdämpfung und Temperaturregelung für präzisen Betrieb in rauen Umgebungen. Das hochpräzise Bedienwerkzeug in KOLB PS 03 verwendet präzise abgestimmte Mikroprozessoren, um schnelle, zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse zu liefern. Die digitale Steuerung ermöglicht die Programmierung einer Vielzahl von Parametern, um den Betrieb für verschiedene Prozessschritte anzupassen. Das Asset verfügt zudem über eine intuitive Benutzeroberfläche für einfache Programmierung und Bedienung. PS 03 enthält eine vollständige Palette von Werkzeugen zur Erleichterung der Waferbearbeitung. Mit einem elektrostatischen Chucker wird das Substrat sicher an der Handhabungseinheit festgeklemmt, während Präzisionssonden zur Messung der Foliendicke und des Widerstandes verwendet werden. Prozessschritte wie Ätzen, Strukturieren und thermische Diffusion können mit den integrierten Plasmabrenner, Cu-Abscheidung und CMP-Werkzeugen des Modells durchgeführt werden. Das Gerät umfasst auch Inspektions- und Testgeräte wie Rasterelektronenmikroskope und andere berührungslose Messtechnikwerkzeuge, um die Genauigkeit und Qualität der bearbeiteten Wafer zu überprüfen. KOLB PS 03 ist in der Lage, die Anforderungen der hochvolumigen, präzisen Waferbearbeitungsanwendungen zu erfüllen. Seine zuverlässige und genaue Leistung gewährleistet hohe Prozesserträge und Produktqualität und ist damit eine ideale Wahl für Halbleiteranwendungen.
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