Gebraucht KOLB PS07 ST #293642590 zu verkaufen
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ID: 293642590
Weinlese: 2006
Stencil cleaner
Ambient temperature: 20°C / 50°C
Noise: ≤74 dB
Contents cleaning tank: 75 L (Approx)
Contents rinse water tank: 75 L (Approx)
Fine filtration: ≤10 µ Candle filters and bottom fleeces
Connection water supply: 3/8" Hose connection, 14 mm
Connection rinse water drain: 3/4" Hose connection, 25 mm
Exhaust connection: Φ160 mm > 200 to 300 m³/hour
Power supply: 400 VAC, 16 A, 3-Phase, 50/60 Hz
Power consumption: 4.2 - 9 kW
2006 vintage.
KOLB PS07 ST ist eine fortschrittliche eigenständige Waferbearbeitungsanlage, die für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Dieses System wird für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, einschließlich Waferreinigung und Beschichtung, Verarbeitungsausrichtung und Lithographie, naßchemisches Ätzen und Trockenfilmabscheidung. Hauptbestandteil dieser Einheit ist die Vakuumarbeitskammer, die abgedichtet ist, um den optimalen Druck und die optimale Umgebung für jeden Schritt zu erhalten. Diese Arbeitskammer besteht aus Edelstahl und bietet eine hohe Korrosionsbeständigkeit und Sauberkeit. Die Bearbeitungsstation enthält die notwendige Ausrüstung für die Waferbearbeitung wie Waferboote, die die Wafer während der Back-, Photoresist-, Belichtungs- und Entwicklungsschritte festhalten. Die Wafer können entweder mit einem Ofen oder einer Heizplatte beheizt werden. Der Belichtungs- und Entwicklungszyklus wird durch eine vollautomatisierte Prozesseinheit gesteuert. Der Roboterarm wird verwendet, um die Wafer exakt von einer Bearbeitungsstation zur nächsten zu bewegen und ist in der Lage, dies mit hoher Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit zu tun. Die Maschine enthält auch eine Vielzahl von Standard-Sensoren und Instrumentierung für die Prozessüberwachung, einschließlich einer integrierten Vision-Tool für genaue Probe Ausrichtung während jedes Schrittes. Das Vision Asset wird durch optische Sensoren gesichert, die die genauen Koordinaten der Wafer auf den Waferbooten und ohne menschliches Eingreifen erkennen. KOLB PS 07 ST ist pflegeleicht und bietet eine sehr präzise, zuverlässige und wiederholbare Leistung. Das Modell kann für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen verwendet werden, einschließlich Dick- und Dünnschichtabscheidung, Sputtern, Photolithographie und Waferbonden. Diese Ausrüstung eignet sich besonders für die Serienfertigung von hochpräzisen Komponenten, die eine vollständige Chargenkonsistenz und Qualitätskontrolle gewährleisten.
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