Gebraucht MARCH iTrak #9087090 zu verkaufen

MARCH iTrak ist eine fortschrittliche Waferbearbeitungsanlage, die den Anforderungen von Forschungs- und Produktionsumgebungen gerecht wird. Es bietet die Flexibilität und Skalierbarkeit, um die härtesten Dünn- und Dickschichtprozesse zu bewältigen. Das System ist um eine zentrale HF/DC-Mehrrichtungsplattform herum konzipiert, die es ermöglicht, sowohl standardisierte als auch fortschrittliche Dünnschichtprozesse mit der gleichen hohen Steuerung zu erstellen und zu warten. Die Substratbewegung wird mit einer präzisen mehrachsigen Bewegungseinheit ermöglicht, die Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Übertragung von Substraten zwischen verschiedenen Bearbeitungsstationen gewährleistet. Jede Station verfügt über eine unabhängige Vakuumsteuerung, um sequentielle Ätz- oder Ablagerungsprozesse unter unterschiedlichen Vakuumbedingungen zu ermöglichen. Ein HF-Generator ist enthalten, um komplexe Abscheidungsschichten oder Abhebeschichten zu verarbeiten. Dieser Generator ermöglicht die präzise Einstellung von HF-Leistung, Frequenz und Tastverhältnissen. ITrak umfasst auch eine fortschrittliche Temperaturkontrollmaschine, um eine angemessene Aushärtung von abgelagertem Material zu gewährleisten. MÄRZ iTrak zeigt auch einen Schwimmenbett-Hydrofluorkohlenwasserstoffspurenverarbeitungsraum, der mit einem PFEC (photofluorochromic) Abfragung des Werkzeugs abgeschlossen ist. Diese Kammer gewährleistet eine genaue Exposition gegenüber OClVOMe für die Abscheidung von Substraten auf das OClV-MASPR-Substrat. ITrak ist mit einer breiten Palette von Zusatzmodulen, wie dem OClV-MASPR Substrat-HF-Modul, einem erweiterten Prozesssteuermodul und einem Wärmewellenmonitor sowie einem separaten Heizmodul, hochgradig anpassbar. Zusätzliche spezialisierte Module ermöglichen einzigartige Anwendungen wie Röntgenmusterung, Ereigniswaferausrichtung und Laser-Tracer-Techniken. Das Asset ermöglicht zudem die Prozessüberwachung und -berichterstattung mit einem umfassenden Softwarepaket. Diese Software sammelt Daten von mehreren Punkten im Modell, einschließlich der Temperaturregelung und HF-Module. Auf diese Weise kann der Benutzer den gesamten Prozess sofort anzeigen, wodurch Probleme leichter diagnostiziert und Verbesserungsbereiche aufgedeckt werden können. Zusammenfassend bietet MARCH iTrak die Flexibilität und Skalierbarkeit, die moderne Forschungs- und Produktionsumgebungen erfordern. Die zentralisierte HF/DC-Plattform bietet eine effiziente Übertragung von Substraten, während ihre fortschrittliche Temperatur und HF-Kompensation die Abscheidung komplexer Schichten oder Abhebeschichten mit Präzision und Genauigkeit ermöglichen. Das Gerät unterstützt auch einzigartige Anwendungen wie Röntgenmusterung und Lasertracing sowie Prozessüberwachungs- und Reporting-Funktionen.