Gebraucht MEDEC / RIX TCM-2000 #9386201 zu verkaufen

MEDEC/RIX TCM-2000 ist eine hochentwickelte Waferbearbeitungsanlage, die den Anforderungen von Forschern der Waferindustrie gerecht wird. Dieses System ist in der Lage, verschiedene Arten von Wafern von regulären Silizium-Wafern bis zu ladungsgekoppelten Gerätewafern (CCD) zu handhaben. Das Gerät ist für die Waferbearbeitung in einer Vielzahl von Situationen und Drücken konzipiert, von Standard-Atmosphärendruck bis zu Ultrahochvakuum (UHV) Umgebungen. RIX TCM-2000 kann Wafergrößen von 50 Millimetern bis 200 Millimetern handhaben und ist in der Lage, maximal 200 Wafer zu handhaben. Es verfügt über zwei unabhängige Handarme mit vierstufigen Be- und Entladepositionen für mehr Automatisierung. Das einzigartige Design der Handarme ermöglicht eine präzise Handhabung und Positionierung der Wafer. Die 10 Prozessmodule der Maschine sind für die Bearbeitung von Wafern im nassen oder trockenen Zustand ausgelegt. Seine nassen Prozessmodule sind in der Lage, Wafer bis 200 mm Durchmesser zu verarbeiten, während seine trockenen Prozessmodule bis 75 mm Wafer handhaben können. Die nassen Prozessmodule bieten chemische Ätz-, Reinigungs- und Diffusionsprozesse, während die trockenen Prozessmodule für die Durchführung von CVD, Oxidation, CMP, Ionenimplantation, Laserbearbeitung und Lithographie konzipiert sind. Das Werkzeug ist mit einer Multi-Gas-Spüleinheit ausgestattet, die eine überlegene Kontrolle über aktive Gase bietet und eine präzise Steuerung der Prozessparameter ermöglicht. Darüber hinaus ist MEDEC TCM-2000 mit verschiedenen Umweltbedingungen wie Feuchtigkeit und Temperatur kompatibel und lässt sich problemlos in bestehende Laboraufbauten integrieren. TCM-2000 bietet eine breite Palette von Reparaturfunktionen wie Kratzreparatur und Nachbearbeitung für Waferhersteller. Es ist mit einer Prozessüberwachung ausgestattet, um ein Höchstmaß an Qualitätskontrolle zu gewährleisten. Das Modell verfügt auch über eine Abfallbewirtschaftungseinheit, die die sichere Entsorgung gefährlicher Chemikalien ermöglicht, die im Prozess verwendet werden. Insgesamt ist MEDEC/RIX TCM-2000 eine fortschrittliche Waferbearbeitungsanlage, die für eine breite Palette von Waferbearbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Die beiden unabhängigen Handarme ermöglichen das präzise Be- und Entladen von Wafern und die 10 Prozessmodule sind für die Bearbeitung einer Vielzahl von Wafern in nassem und trockenem Zustand ausgelegt. Die Mehrgasspülfunktionen des Systems bieten eine überlegene Kontrolle über aktive Gase, während die Prozessüberwachungseinheit eine Qualitätskontrolle bietet. RIX TCM-2000 ist auch in eine Abfallwirtschaftseinheit zur sicheren Entsorgung gefährlicher Chemikalien integriert. All diese Eigenschaften machen sie zu einer zuverlässigen und effizienten Waferbearbeitungsmaschine.