Gebraucht MICRO AUTOMATION 2066SA #9028587 zu verkaufen

MICRO AUTOMATION 2066SA ist eine fortschrittliche, automatisierte Waferbearbeitungsanlage, die auf Präzision und hohen Durchsatz ausgelegt ist. Es unterstützt eine breite Palette von Prozessabläufen mit einem minimalen manuellen Eingriff. Dieses System ist ideal für die Halbleiterverarbeitung, da es 12 "-Wafer aus Abscheidungs-, Ätz-, Reinigungs- und anderen Substratverarbeitungsschritten aufnehmen kann. 2066SA ist mit einer Reihe von Modulen und Funktionen ausgestattet, um eine breite Palette von Halbleiterverarbeitung zu unterstützen. Das Gerät umfasst einen Ladeanschluss, eine Mehrkammermaschine, eine Prozesssteuerung, ein Lastschloss, ein Werkzeuglager und eine Prozessüberwachungssoftware. Es kommt auch mit erweiterten Echtzeit-Überwachung von Prozessen und Datenanalyse-Tools. Der Load Port von MICRO AUTOMATION 2066SA ermöglicht ein effizientes Einladen von Wafern in das Werkzeug bei minimalem manuellen Eingriff. Dies wird durch ein Load Lock Asset unterstützt, das eine genaue und konsistente Temperaturregelung bietet. Es ermöglicht auch die schnelle Übertragung von Wafern zwischen Prozesskammern. Das Mehrkammermodell von 2066SA unterstützt mehrstufige Prozessabläufe wie Metallisierung, Abscheidung, Ätzen und Reinigung. Es verfügt über nasse und trockene Prozesse, die Flexibilität und Genauigkeit im Umgang mit einer breiten Palette von Substraten ermöglichen. Darüber hinaus können die Geräte bis zu 12 "Wafer verarbeiten, was einen hohen Durchsatz bei höheren Ausbeuten ermöglicht. Der Process Controller von MICRO AUTOMATION 2066SA ermöglicht eine präzise, Echtzeit-Prozesssteuerung. Es bietet eine umfassende Steuerung von Parametern wie Drücken, Temperaturen und Rampenraten, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Zusätzlich kann die Steuerung mit jedem Vakuumsystem verbunden werden, was eine weitere Prozessoptimierung ermöglicht. Das Tool Storage Rack von 2066SA ermöglicht die Speicherung einer Vielzahl von Prozessmodulen und ermöglicht einen hohen Durchsatz und Flexibilität. Es kann mehrere Submodule aufnehmen, einschließlich Plasmapistolen, Pyrometer, Ätzer und Kryopumpen. Die Process Monitoring Software von MICRO AUTOMATION 2066SA bietet Anwendern ein Echtzeit-Feedback zum Status von Prozessparametern. Darüber hinaus können Anwender die Substratleistung und die Produkterträge überwachen und so die Produktion optimieren. Darüber hinaus umfasst die Software Visualisierungstools zur schnellen und einfachen Analyse von Daten. 2066SA ist eine leistungsstarke, automatisierte Waferverarbeitungseinheit, die für hohen Durchsatz und Wiederholbarkeit ausgelegt ist. Es bietet eine breite Palette an erweiterten Funktionen und Modulen, die es Anwendern ermöglichen, genaue und ertragreiche Ergebnisse über eine Reihe von Prozessabläufen zu erzielen.