Gebraucht MKS 1153A #77147 zu verkaufen
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ID: 77147
Low vapor pressure source delivery system with analog controller, set up for TiI4.
MKS 1153A ist eine hochmoderne andere Waferbearbeitungsanlage der MKS Instruments Inc. Das System wurde entwickelt, um die Zeit und den manuellen Arbeitsaufwand für die Herstellung integrierter Schaltungen und MEMS-Geräte auf Wafern zu reduzieren. Es ist eine kostengünstige und benutzerfreundliche Waferbearbeitungslösung. Das Gerät besteht aus einem robusten Rahmen und einem benutzerfreundlichen Touchscreen-Controller. Es ist in der Lage, integrierte Schaltungen mit einer Mindesteigenschaftsgröße von 200 Nanometern und MEMS-Geräte mit einer Mindesteigenschaftsgröße von 10 Nanometern zu produzieren. Die Maschine verfügt außerdem über einen leistungsstarken 3-Achsen-Roboterarm, der präzise und wiederholbare Bewegungen ermöglicht. Seine Schrittmotoren können den Arm mit einer Positioniergenauigkeit von 0,5 Mikrometern bei Geschwindigkeiten von bis zu 6 Metern pro Sekunde bewegen. Um eine präzise Temperaturregelung während des Waferprozesses zu gewährleisten, verwendet das Werkzeug auch eine präzise Temperaturregelung. 1153A ist mit mehreren Vakuum- und Gasfördersystemen für eine präzise und zuverlässige Prozesssteuerung ausgestattet. Die Vakuum- und Gasfördersysteme können so programmiert werden, dass Prozessparameter wie Volumen, Durchfluss, Druck und Leitfähigkeit präzise manipuliert werden. Das Modell kann mit einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Glas, Keramik und Metallen sowie einer Vielzahl von Ätzmitteln, Plasmen und Chemikalien verwendet werden. Die Ausrüstung verfügt über ein fortschrittliches Überwachungs- und Sicherheitssystem mit mehreren Alarmen und Sicherheitsabschaltfunktionen. MKS 1153A ist eine ideale Lösung für integrierte Schaltungen und MEMS-Fertigungsunternehmen. Seine präzise, wiederholbare und effiziente Leistung ist ideal für eine Vielzahl anderer Waferbearbeitungstechniken. Diese Einheit ist sehr zuverlässig und kostengünstig für jedes etablierte Schaltkreis- und MEMS-Fertigungsgeschäft.
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