Gebraucht MKS / ASTEX Astron ex #293647823 zu verkaufen

MKS/ASTEX Astron ex ist eine präzise automatisierte Waferbearbeitungsanlage, die für die anspruchsvollsten Frontend- und Back-End-Anwendungen entwickelt wurde, einschließlich Lithographie und Beschichtung. Das System bietet Flexibilität, hohen Durchsatz und geringen Platzbedarf und erfüllt gleichzeitig die höchsten Genauigkeitsanforderungen. MKS Astron ex bietet eine Vielzahl von Prozessmodulen für jede Art von Wafer, einschließlich Standard-, kundenspezifische und Ultra-High-Density-Wafer. ASTEX Astron ex verfügt über eine intuitive Touchscreen-Oberfläche für einfache Bedienung. Es ist dazu fähig, bis zu 200 Oblaten pro Stunde mit seiner innovativen 8-Stationen-Gruppenverarbeitungstechnologie zu bearbeiten. Die präzisen mehrachsigen Bewegungsfähigkeiten ermöglichen es der Maschine, bei der Musterausrichtung eine Genauigkeit von unter Mikrometern mit einer Registriergenauigkeit von +/- 0,6 μ m und einer Dickengenauigkeit von +/- 0,4 μ m zu erreichen. Zu den einzigartigen Merkmalen von Astron ex gehören die automatische Ausrichtung von Wafer-Schwerpunkten, die automatische Fokusregelung, die dynamische Gesichtserkennung und -ausrichtung sowie das automatisierte systematische Überscannen. Anlagenbediener können objektiv die Ausrichtung jedes Wafers vor oder während des Prozesses überprüfen und die Menge der Kontamination auf ein- und ausgehenden Wafern kontrollieren. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Vielzahl von optionalen erweiterten Modulfunktionen, wie hochgenaue Beschichtung, Wafer-zu-Wafer-Vernetzung, Anti-Kontamination-Schritte und mehrere Wafer-Handling-Systeme. Der modulare Aufbau von MKS/ASTEX Astron ex ermöglicht auch einfache Upgrades und Funktionserweiterungen, sodass Benutzer die Maschine schnell auf ihre spezifischen Anforderungen konfigurieren können. Das fortschrittliche und robuste Werkzeug von MKS Astron ex ermöglicht es Herstellern, hochdichte Halbleiterbauelemente mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit sicher und effizient zu verarbeiten. Der modulare Aufbau und die intuitive Bedienung machen ihn zur idealen Wahl für anspruchsvollste und komplexeste Waferanwendungen.