Gebraucht MKS ASTeX FI20620-1 #9204069 zu verkaufen

MKS ASTeX FI20620-1
ID: 9204069
2L Remote plasma source.
MKS FI 20620-1 ist eine Art anderer Waferbearbeitungsgeräte und wird für Präzisionswaferbearbeitungsanwendungen weit verbreitet. Dieses System wurde von MKS Instruments bereitgestellt, einem der weltweit führenden Hersteller von Analyse- und Prozesskontrollinstrumenten. MKS FI20620-1 ist ein All-in-One-Gerät und ist ein einarmiger Roboter, der mit einer Vielzahl von automatisierten Verarbeitungsmöglichkeiten für die Waferbasierte Verarbeitung integriert ist. Die Maschinenkonfiguration dieses Werkzeugs umfasst einen Luftzylinder, eine Rahmenbaugruppe und eine Zentraleinheit (CPU). Der Luftzylinder dient zur Ausrichtung von Masken und Wafern während Waferbearbeitungsvorgängen. Es verfügt über einen einarmigen Roboter, der bis zu drei Aufgaben parallel bewältigen kann. Die Rahmenbaugruppe sorgt für den notwendigen Sicherheitsschutz bei Waferbearbeitungen. Die CPU steuert den Betrieb aller Komponenten der Anlage einschließlich des Luftzylinders, der Rahmenbaugruppe und des einarmigen Roboters. Zu den Merkmalen von FI 20620-1 gehören mehrstufiges Vakuum-Wafer-Handling, eine Reihe automatisierter Verarbeitungsvorgänge einschließlich Spin-Etching und Post-Etching, eine Reihe von OVF-Reinigungs- und Abscheidungsprozessen sowie die Wafer-Verifizierung. Es ist auch in der Lage, erweiterte Wafer-Scan und Analyse und verfügt über eine integrierte Datenerfassung und Display-Modell. Darüber hinaus ist die Ausrüstung mit Sicherheitselementen aufgebaut, die die Sicherheit während des Betriebs des Systems gewährleisten. Abschließend ist FI20620-1 eine vielseitige, zuverlässige und effiziente Waferbearbeitungseinheit, die sich perfekt für präzise Waferbearbeitungsanwendungen eignet. Es verfügt über eine robuste und leistungsstarke Luftzylinder- und Rahmenbaugruppe für optimale Sicherheit sowie einen ausgeklügelten Einarmroboter für mehr Produktivität. Die automatisierten Bearbeitungsvorgänge dieser Maschine sind umfangreich und umfassen Spin-Etching und Post-Etching, OVF-Reinigungs- und Abscheidungsprozesse, erweiterte Wafer-Scans und -Analysen sowie ein integriertes Datenerfassungs- und Anzeigetool. Damit ist MKS FI 20620-1 eine ideale Bereicherung für präzise Waferbearbeitungsvorgänge.
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