Gebraucht MKS FI 80131 #9165072 zu verkaufen

MKS FI 80131 ist eine andere Waferbearbeitungsanlage, die von MKS Instruments entwickelt wurde. Dieses automatisierte Waferbearbeitungssystem wurde entwickelt, um zuverlässige, wiederholbare Leistung für jeden verarbeiteten Wafer zu bieten. Es verfügt über eine integrierte Konstruktion, die es einem einzelnen Roboter ermöglicht, jeden Wafer oder Wafer-Stapel vom Ladeanschluss zur Bearbeitungskammer zu transportieren. Ein automatisierter Transferarm positioniert jeden Wafer im Prozessbereich der Kammer, wodurch Prozessparameter anhand von Wafergröße, Material und Dicke genau bestimmt werden können. Die Kammer von MKS FI80131 ist mit einem Hochdruck Chemical Vapor Deposition (CVD) -Gerät ausgestattet, das die optimalen Bedingungen für konsistente, einheitliche Waferbeschichtungen bietet. Die Abpumpdrehzahl ist an unterschiedliche Prozessanforderungen anpassbar und kann sowohl im Druck- als auch im Vakuummodus betrieben werden. Darüber hinaus ist der Temperaturbereich der Kammer von -20 ° C bis + 400 ° C einstellbar und eignet sich somit für eine Vielzahl von Prozessen wie Oxidation, Nitridation, Glühen und Diffusion. Diese Maschine verfügt auch über ein vollautomatisches Isolierventil (IPV) -Werkzeug, ein Sicherheitsmerkmal, das es ermöglicht, eingeklemmtes Gas innerhalb der Kammer schnell in die Atmosphäre zurückzubringen. Die IPV-Anlage erleichtert auch das Einbringen vorgegebener Gasvolumina in die Kammer und ermöglicht die Bildung genau definierter Schichten mit wiederholbarer Dicke. Um maximale Qualität und Einheitlichkeit der Waferschicht zu gewährleisten, ist dieses Modell mit einem erweiterten Softwarepaket ausgestattet, das die volle Kontrolle über alle Prozessparameter bietet. Die Software ermöglicht es Benutzern, Prozessrezepte einfach zu speichern, Sollwerte einzustellen und Wafertemperatur, Druck und Pumpendrehzahl zu überwachen. Echtzeit-Überwachungs- und Protokollierungsfunktionen ermöglichen es Benutzern auch, wichtige Kammerbedingungen wie Temperatur, Druck und Abscheiderate für jede Waferschicht aufzuzeichnen. Ideal für den Einsatz in akademischen und industriellen Wafer-Fertigungsumgebungen, FI 80131 ist zuverlässig und einfach zu bedienen. Das innovative Design und die integrierte Softwareausstattung sorgen für höchste Konsistenz und Qualität der Waferschicht und sind somit die perfekte Wahl für jede Waferbearbeitungsanwendung.