Gebraucht MKS FI80132 #293628188 zu verkaufen

MKS FI80132 ist eine leistungsstarke, automatisierte Waferbearbeitungsanlage, die in der Halbleiter- und MEMS-Fertigung eingesetzt wird. Das System ist für die schnelle Bearbeitung von Wafern in einer Vielzahl von Umgebungen konzipiert und unterstützt eine Reihe von Fertigungstechnologien, einschließlich PECVD und ALD. FI80132 Einheit ist mit einem Waferträger mit 300mm Durchmesser, einer herausgeführten Waferkassette und einer 300mm Waferladung ausgestattet. Es ist eine vielseitige, leistungsstarke Maschine, die den unterschiedlichen Herstellungsanforderungen gerecht wird. Das Werkzeug verwendet einen Vakuumeimer, um Wafer für die Verarbeitung zu positionieren und zu lokalisieren. Es verwendet eine programmierbare x-y Waferstufe, um Wafer-Batches über mehrere Prozessstationen zu bewegen. Dies ermöglicht die schnelle Bearbeitung großer Wafer-Chargen in kurzer Zeit. Das Asset ist mit mehreren automatisierten Funktionen wie Barcode-Scan und Mustererkennung ausgestattet. Dies reduziert die manuelle Handhabung der Wafer, was zu einer erhöhten Effizienz führt. Darüber hinaus wird die hohe Prozesstemperatur dank der fortschrittlichen Atmosphären und Tempersonik-Pakete beibehalten. Das Modell beinhaltet auch einen automatisierten Reinigungsprozess, der eine hervorragende Reinigungseffizienz für Wafer bietet. Das Gerät ist zudem mit einem fortschrittlichen Wafertransportsystem ausgestattet, das einen schnellen, zuverlässigen Transport entlang der großen Bearbeitungswege ermöglicht. MKS FI80132 ist eine Ultrahochvakuumeinheit, die bei richtiger Konfiguration Basisdrücke von 25 mTorr erreichen kann. Dies ist wichtig, um die Bildung von Partikeln zu verhindern, die den Prozess schädigen können. Eine fortschrittliche Gasmaschine und Gasstromregler reduzieren das Potenzial für Partikelverunreinigungen weiter. Das Tool ist auch mit mehreren Prozessüberwachungssystemen ausgestattet, einschließlich einer Vielzahl von Infrarot- und Lasersystemen zur Erkennung/Identifizierung von Prozesszielen. Dies ermöglicht eine granulare Prozessverfolgung, die eine effiziente Analyse und Kontrolle ermöglicht. Insgesamt ist FI80132 eine automatisierte Waferbearbeitungsanlage, die eine effiziente und zuverlässige Halbleiter- und MEMS-Herstellung ermöglicht. Es ist ein innovatives Modell, das mehrere fortschrittliche Technologien wie Barcode-Scanning, Mustererkennung, Reinigungsprozesse, Gasstromregler und Prozessmonitore umfasst. Diese Kombination von Funktionen erhöht die Effizienz der Verarbeitung erheblich, was zu schnelleren Time-to-Market und geringeren Kosten führt.