Gebraucht MKS Revolution Series #9103292 zu verkaufen

Die MKS Revolution Series ist eine komplette, integrierte Produktionsplattform für andere Waferbearbeitungen. Die Revolution Series wurde für die Prozesssteuerung und Prozessintegration entwickelt und bietet eine hervorragende Leistung und höhere Zuverlässigkeit in einer Reihe von Konfigurationen, um den Anforderungen der sich heute entwickelnden Waferverarbeitung gerecht zu werden. Durch die Kombination der neuesten Hardware-, Software- und Technologien bietet die MKS Revolution Series eine durchgängige Prozesssteuerung für alle anderen Waferbearbeitungsanwendungen. Die Revolution Series verfügt über eine integrierte High-Temperature Rapid Thermal Processing (RTP) Kammer für Wafer State-of-the-Art Produktion. Die Plattform bietet einzigartige Genauigkeit und Zuverlässigkeit für Anwendungen, die extrem präzise Wafer-Verarbeitungsbedingungen und maximalen Durchsatz erfordern. Die hochgenauen Datenerfassungs- und Prozessausführungsfunktionen ermöglichen die Echtzeit-Überwachung von Wafer-Prozessparametern und -performance. MKS Revolution Series bietet auch erweiterte Funktionen für die Prozessoptimierung. Das Multi-Sensing-Prozessüberwachungssystem bietet eine genaue und umfassende Kontrolle über eine Reihe von Prozessparametern. Die Revolution Series umfasst erweiterte Speicherverwaltungsfunktionen für schnellen und zuverlässigen Waferbetrieb. Sein fortschrittlicher Temperaturregelmechanismus sorgt für eine präzise Kontrolle der Prozesstemperaturen und ermöglicht eine enge Temperaturgleichförmigkeit über alle Wafer im Prozess. Darüber hinaus ist die MKS Revolution Serie mit einem Hochleistungs-HF-Generatormodul für fortgeschrittene Plasmaätz-, Laserablations- und Maskierungsbehandlungen ausgestattet. Das schnell schaltende HF-Netzteil ermöglicht eine Echtzeit-Leistungseinstellung von bis zu 20 MHz und trägt zur Optimierung der Prozesssteuerung und zur Optimierung der Waferleistung bei. Die Revolution Series verfügt über ein einzigartiges, hochpräzises Optik-Toolset mit verschiedenen Objektiven und Stufen zur genauen Ausrichtung während der Waferbearbeitung. Der integrierte Low-Power-Laser der Serie bietet eine hervorragende Eingriffsgenauigkeit für Wafer und eine hochgenaue Pulssteuerung. Das kombinierte Wafer-Handling und Verarbeitungssystem sorgt für maximale Qualitätsleistung. Die MKS Revolution Series ist die ideale Plattform für die moderne Hochleistungs-Bearbeitung anderer Wafer. Seine leistungsstarken Fähigkeiten bieten Prozessstabilität und ultimative Kontrolle für Waferbearbeitungsanwendungen. Mit ihrem robusten Design und den fortschrittlichen Funktionen ermöglicht die Revolution Series höhere Erträge und niedrigere Betriebskosten für andere Waferbearbeitungen.