Gebraucht PBT Miniclean #9313059 zu verkaufen

PBT Miniclean ist ein vollautomatisches, hochpräzises Waferreinigungssystem, das eine sichere, zuverlässige und wirtschaftliche Methode zur Entwicklung und Herstellung integrierter Schaltungen auf Halbleiterscheiben bietet. Die Einheit umfasst eine Vorspülstation, eine beheizte einstufige Sprühreinigungsstation und eine Nachspülstation. An der Vorspülstation werden ankommende Wafer mit einer Waschmittellösung vorgereinigt und anschließend mit entionisiertem Wasser gespült, wodurch Bruttopartikelschutt von ihrer Oberfläche entfernt wird. An der beheizten einstufigen Sprühreinigungsstation werden Wafer einem Ätzmittel oder Reinigungsmittel bei einer bestimmten Temperatur ausgesetzt. Dies geschieht für mehrere Minuten, und je nach Anwendung können verschiedene Ätzmittel verwendet werden. Nach dem Ätzvorgang werden die Wafer dann auf eine Temperatur angehoben, die ein gründliches Ausspülen sowohl des Reinigungsmittels als auch etwaiger Restpartikel von der Oberfläche des Wafers ermöglicht. Schließlich dient die Nachspülstation zur Trocknung der Wafer. Miniclean verfügt zudem über eine einzigartige Roboter-Wafer-Handhabungsmaschine zur präzisen Positionierung der Wafer und eine integrierte Wafer-Be-/Entladestation zur einfachen Handhabung. Das Roboterwerkzeug verfügt über eine Sicherheitsverriegelung zum Schutz von Bedienungspersonal vor Störungen der Ausrüstung und ein Verschmutzungskontrollmodell, das das Reinigungsmittel für eine verbesserte Ausnutzung recycelt, filtert und destilliert. Die Vorrichtung umfasst ferner ein Vakuumsystem zur ggf. Veränderung des Reinigungskammerdrucks und eine spezielle Wafer-Überwachungseinheit zur Erkennung und Dokumentation von während des Reinigungsprozesses auftretenden Defekten. Die Maschine wird durch manuellen, halbautomatischen oder vollautomatischen Modus betrieben und bietet Benutzern die volle Kontrolle über Prozessparameter wie Temperatur, Reinigungszeit und Spülchemie. Mit PBT Miniclean vereint mit erstklassigen Prozessrezepten können Bediener eine fehlerfreie Reinigung und reduzierte Betriebskosten erzielen. Darüber hinaus ermöglicht sein benutzerfreundliches Design eine einfache Installation und Wartung. Das Werkzeug eignet sich für Reinraumumgebungen und kann in einer Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen von Maskierung und Schrubben über Ätzen bis hin zum chemisch-mechanischen Polieren eingesetzt werden.