Gebraucht PVA TEPLA / GEMETEC / HOLOGENIX WSPS-3 #9257414 zu verkaufen

PVA TEPLA/GEMETEC/HOLOGENIX WSPS-3 Waferbearbeitungsgeräte sind ein fortschrittliches industrielles Werkzeug, das die gesamte Palette von Fertigungsprozessen für mikroelektronische Geräte unterstützt. Es verfügt über ein integriertes Robotiksystem und eine vollständige Palette fortschrittlicher Prozesssteuerungstechnologien mit einer ausgezeichneten Bibliothek von Prozessrezepten. Diese Einheit ist für eine effiziente, präzise und wiederholbare Produktion komplexer Elektronik- und Photonik-Geräte optimiert. Die Maschine beinhaltet eine integrierte 3-Achsen-Roboter-Handhabungseinheit, die 180mm-Wafer und Mustertransfer/Ablagerung Unterseiten mit präziser Bewegungssteuerung und präziser Wafer Position/Orientierung bewegen kann. Es bietet auch drei Kammern und eine passende Waferübertragungskammer, die eine präzise Temperatur-, Druck- oder Vakuumregelung ermöglicht. Das Tool verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche und leistungsstarke Programmier- und Datenerfassungs-Softwarepakete für die einfache Einrichtung von Prozessrezepten zur Maskenausrichtung, Abscheidung, Oxidationsätzung, Resistentwicklung, Nass- und Trockenreinigung, Lasermusterung und Integration zusätzlicher definierter Prozessabläufe. Die integrierte Steuerung soll eine präzise Prozesssteuerung und wiederholbare Ergebnisse gewährleisten, die maximale Leistung und Erträge gewährleisten. Es ermöglicht die vollständige Automatisierung von Abscheidung, Ausrichtung und optischem Ätzen sowie Maskenbau. Es hat bis zu 48 Einzel- oder Doppelimpulsprozesse, variable Frequenzsteuerung über mehrere Kammern, variable Zeitsteuerungsfunktionen und Partikelfiltration. Seine Laserlithographie Fähigkeiten umfassen Gen2 Laser Strukturierung, abwechselnde Laser Strukturierung und Low K dielektrische Ätzung. Dieses Modell bietet auch erweiterte Prozessüberwachungsfunktionen durch eine visuelle Inspektionsausrüstung. GEMETEC WSPS-3 verfügt darüber hinaus über hervorragende Sicherheitsmerkmale wie einen Sicherheitsgurt, Nothaltetasten für alle Prozessmodule und Maschinenkomponenten. Es erfüllt hohe Anforderungen an die Genauigkeit mit bestimmten Eigenschaften wie Niederspannungsoperationen, minimale Wärmeleistung und hohe Leistung. Es verfügt über ein ausgezeichnetes Wärmemanagementsystem für verbesserte Wärmeverteilung und verbesserte Schichtgleichförmigkeit. Das Gerät ist auch mit automatisierten Messgeräten kompatibel und somit eine gute Wahl für komplexe Waferbearbeitung.