Gebraucht SATISLOH PRA #293778135 zu verkaufen

ID: 293778135
Weinlese: 2010
Blocker 2010 vintage.
SATISLOH PRA ist eine automatisierte Waferbearbeitungsanlage, die zuverlässige und effiziente Waferbearbeitungsergebnisse liefert. Es verfügt über eine exklusive multifunktionale Funktion, die es dem System ermöglicht, mehrere Funktionen gleichzeitig auszuführen. Diese Einheit ist auch in der Lage, hohe Ausbeuten an Wafern zu erzeugen und bietet Flexibilität bei der Erzielung unterschiedlicher Ergebnisse je nach Anwendungsfall. Die Hauptkomponenten von PRA sind der Satz von Frontend-Werkzeugen, darunter ein Wafer-Lader, ein Dispencer und eine Wafer-Streifen-Station. Jedes Werkzeug hat einen besonderen Zweck und wird über einen Servoroboterarm an der Maschine befestigt. Das erste Werkzeug, der Lader, wird verwendet, um Wafer sicher auf eine Wafer-Streifen-Plattform zu platzieren. Die Wafer-Streifenstation leitet dann die Wafer in den Wafer-Dispencer ein, der Dünnschichtmaterial abgibt und die Wafer gleichmäßig über die Fläche des Wafers verteilt bewegt. Die folgende Stufe beinhaltet den Kern des Werkzeugs, seinen Prozessor. Der Prozessor besteht aus mehreren diskreten Maschinen, die um den Prozessor herum stationiert sind. Dazu gehören eine Datenerfassungs- und -verarbeitungseinheit, ein Chemikalienverteiler, eine Temperaturregeleinheit, ein Durchflussmesser und eine Auswurfeinheit. Die Datenerfassungs- und Verarbeitungseinheit übernimmt das Wafer-Verarbeitungsrezept. Der Chemikalienverteiler übernimmt die Durchflussmenge und Temperatur von Chemikalien. Die Temperaturregeleinheit sorgt für eine gleichmäßige Erwärmung der Wafer und die Durchflussüberwacher überwachen die chemische Strömungsgeschwindigkeit. Schließlich entledigt sich die Auswurfbaugruppe der bearbeiteten Wafer und schickt sie an die Sammelsteckdose. SATISLOH PRA verfügt auch über eine Autokorrektur-Komponente, um präzise Wafer-Verarbeitungsergebnisse zu gewährleisten. Wafer, die nicht den vorgegebenen Standards entsprechen, werden an den Waferlader zurückgeschickt. Der Waferlader lädt dann den recycelten Wafer und leitet ihn zur Korrektur in den Prozessor ein. Dieses Modell sorgt für genaue Ergebnisse, verbesserte Erträge und eine minimale Anzahl von Ausschüssen. Schließlich können PRA-Geräte mit einer Vielzahl von Befehlen und Parametern gesteuert werden. Über eine webbasierte Schnittstelle können Bediener auf den zentralen Prozessor zugreifen und das System manuell steuern. Sie können Verarbeitungsrezepte einrichten und ändern, die Leistung des Geräts überwachen und die Parameter steuern. Diese Schnittstelle bietet auch einen detaillierten Überblick über den Zustand der Maschine, wie die aktuelle Temperatur, die Durchflussmengen und den Wafer-Stripping-Fortschritt. Insgesamt ist SATISLOH PRA ein automatisiertes Waferbearbeitungswerkzeug, das mehrere Wafer gleichzeitig bearbeiten kann. Seine Eigenschaften ermöglichen es, präzise und genaue Ergebnisse zu erzielen. Dank seiner webbasierten Oberfläche ist das Asset auch leicht zugänglich und bedienerfreundlich. Mit seiner Kombination aus Eigenschaften und Leistungsmerkmalen ist PRA eine ideale Lösung für Waferbearbeitungsanwendungen.
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