Gebraucht SC FLUIDS MEMS Dryer #141020 zu verkaufen
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ID: 141020
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 2002
Supercritical CO2 MEMS dryer for single wafer drying, 6" to 8"
Specifications:
Wafer size: 6" to 8"
Ultraclean CO2 delivery system
Point of use particle filter: less than 0.003µ
Solvent separator and water heater
Automated process chamber closing mechanism
PLC controller: stores up to 10 process recipes
2002 vintage.
SC FLUIDS MEMS Dryer ist eine hochmoderne Waferbearbeitungsanlage für den Einsatz in der Produktion von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS). Dieser Trockner verwendet die patentierte beheizte Dampftechnologie von SC Fluidic Technolgy, um MEMS-Fabrikationen zu trocknen. Das System verfügt über ein außergewöhnlich geringes thermisches Budget sowie eine außergewöhnliche Gleichmäßigkeit beim Trocknen. Es ist für die effizienteste und genaueste Trocknung der porösen Schichten von MEMS-Wafern ausgelegt. MEMS Dryer ist eine vollständig geschlossene Batch-Verarbeitungseinheit, die eine Vielzahl von Wafergrößen von 200 bis 400 mm Durchmesser verarbeiten kann. Die Maschine bietet eine saubere, keimfreie Arbeitsumgebung. Es verfügt auch über ein Vakuumwerkzeug, das einen Druck bis zu 650 mbar bei einer Temperatur von bis zu 100 ° C halten kann. Die erhitzte Dampftechnologie verdampft Wassermoleküle, so dass die Waferoberfläche trocken und frei von Restfeuchtigkeit bleibt. Das Asset verfügt außerdem über automatisierte Steuerungen und Alarme, die eine nahtlose Automatisierung und Prozesskontrolle ermöglichen. Durch seine SPS-Steuerung können Bediener die Temperatur, den Druck und die Zeit des Trocknungsprozesses genau steuern. Die benutzerfreundliche Steuerung und die benutzerfreundliche Software machen das Modell einfach zu bedienen und zu warten. SC FLUIDS MEMS Dryer ist ideal für die Produktion mit hohem Durchsatz. Es hat eine maximale Rate von 800 Wafern/Stunde und seine automatisierten Programme garantieren genaue Trocknungsparameter. Das Gerät verfügt auch über einen Sicherheitsschalter für die Notabschaltung bei unvorhergesehenen Ereignissen. MEMS Dryer ist eines der fortschrittlichsten Waferbearbeitungssysteme auf dem Markt. Es bietet überlegene Genauigkeit, Effizienz und Sicherheitsmaßnahmen. Es verfügt auch über hervorragende Stabilität, Wiederholbarkeit und Flexibilität in seinem Betrieb. Dieses System ist eine ausgezeichnete Wahl für MEMS-Fabrikationen, die eine präzise, zuverlässige Trocknung erfordern.
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