Gebraucht SEMINET AUTOMATION RHICS #293822778 zu verkaufen

ID: 293822778
Weinlese: 2019
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SEMINET AUTOMATION RHICS ist eine innovative und fortschrittliche andere Waferbearbeitungsanlage, die entwickelt wurde, um verschiedene Halbleiterherstellungsprozesse zu rationalisieren und zu automatisieren. Dieses hochmoderne System verfügt über modernste Technologien und Funktionen, um die Effizienz, Präzision und Produktivität der Waferbearbeitung in Halbleiterherstellungsanlagen zu verbessern. Schlüsselkomponenten und Funktionalitäten: Die RHICS-Einheit besteht aus mehreren Kernkomponenten, die nahtlos zusammenarbeiten, um den Waferbearbeitungs-Workflow zu automatisieren und zu optimieren. Dazu gehören Roboterarme, Wafer-Handling-Module, Bearbeitungskammern, Vakuumsysteme und Steuergeräte. Die Maschine ist mit fortschrittlichen Sensoren, Aktuatoren und Reglern ausgestattet, um kritische Parameter während der Verarbeitung zu überwachen und zu regeln. Roboterarme: Die Roboterarme in SEMINET AUTOMATION RHICS Werkzeug sind verantwortlich für die Handhabung und Übertragung von Wafern zwischen verschiedenen Bearbeitungsmodulen und Stationen. Diese hochpräzisen Roboterarme sind in der Lage, Wafer mit außergewöhnlicher Genauigkeit und Geschwindigkeit aufzunehmen, zu drehen und zu platzieren, wodurch das Risiko von Beschädigungen und Kontaminationen minimiert wird. Wafer Handling Module: Die Wafer Handling Module im Asset bieten eine sichere und kontrollierte Umgebung für die Lagerung und den Transport von Wafern innerhalb der Verarbeitungsanlage. Diese Module sind mit automatisierten Wafer-Mapping- und Identifikationssystemen ausgestattet, um eine ordnungsgemäße Verfolgung und Rückverfolgbarkeit von Wafern während der gesamten Verarbeitungsstufen zu gewährleisten. Bearbeitungskammern: Die Bearbeitungskammern im RHICS-Modell sind für verschiedene Waferbearbeitungstechniken wie Abscheidung, Ätzen, Lithographie und Reinigung ausgelegt. Diese Kammern sind mit anspruchsvollen Heiz-, Kühl- und Gasstromregelungssystemen ausgestattet, um präzise und kontrollierte Prozessbedingungen zu schaffen, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Vakuumsysteme: Um eine saubere und kontaminationsfreie Umgebung für die Waferbearbeitung zu erhalten, verfügt SEMINET AUTOMATION RHICS über moderne Vakuumsysteme, die Luft effizient evakuieren und eine Vakuumatmosphäre in den Verarbeitungskammern erzeugen. Diese Vakuumsysteme gewährleisten konsistente und zuverlässige Verarbeitungsbedingungen, insbesondere für empfindliche Prozesse wie Dünnschichtabscheidung und Plasmaätzen. Steuergeräte: Zentral für den Betrieb des RHICS-Systems sind die ausgeklügelten Steuergeräte, die die Aktivitäten der verschiedenen Gerätekomponenten verwalten und koordinieren. Diese Steuergeräte sind mit intelligenten Software-Algorithmen zur Optimierung von Prozessparametern, Planungsaufgaben und Überwachung des Gerätestatus in Echtzeit ausgestattet. Zusätzlich kann die Maschine mit fortschrittlicher Prozesssteuerungssoftware zur Datenanalyse und Entscheidungsfindung integriert werden. Insgesamt stellt SEMINET AUTOMATION RHICS einen bedeutenden Fortschritt in der Halbleiterwaferbearbeitungstechnologie dar und bietet Halbleiterherstellern eine umfassende und integrierte Lösung zur Steigerung von Produktionseffizienz, Qualität und Ertrag. Durch die Automatisierung und Optimierung kritischer Bearbeitungsschritte ermöglicht dieses Werkzeug Halbleiterfabriken, die wachsenden Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen und gleichzeitig hohe Standards an operative Exzellenz und Produktleistung zu wahren.
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