Gebraucht SHIBAURA / TOKUDA KP4500BG #9386798 zu verkaufen
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SHIBAURA/TOKUDA KP4500BG ist eine vielseitige andere Waferbearbeitungsanlage, die zum Plattieren, Abscheiden, Fräsen, Ätzen und Inspizieren von Wafern verwendet wird. Es verfügt über ein präzises und genaues optisches Waferausrichtungssystem sowie eine manuelle Be-/Entladeeinheit, die acht Substrate innerhalb ihrer Bearbeitungskammer aufnehmen kann. Die Maschine ist in der Lage, Materialien mit außergewöhnlicher Genauigkeit und hoher Wiederholbarkeit auf Substraten abzuscheiden. Dies wird durch die Verwendung mehrerer unterschiedlicher Abscheideköpfe, wie des Plasmabedampfkopfes, des Sputterkopfes oder anderer Spezialköpfe ermöglicht. Jedes ist für verschiedene Zwecke konzipiert und hat die Fähigkeit, eine breite Palette von Materialien und Dicken mit hoher Präzision abzuscheiden. TOKUDA KP4500BG kann mit hoher Präzision Ätzprozesse durchführen, die in der Lage sind, mit einer Vielzahl von Ätzmaterialien eine gleichmäßige Ätzdicke zu erzeugen. Dies geschieht durch die Anpassung der Ätzprozessparameter an die individuellen Bedürfnisse des zu bearbeitenden Wafers. Mit dem Werkzeug steht auch ein Fräsprozess zur Verfügung, der das genaue Entfernen von Materialien von der Oberfläche des Wafers ermöglicht. Dies geschieht mit einem motorisierten Fräsrad, das verstellbar ist, um unterschiedliche Wafermaterialien und Dicken aufzunehmen. Das Asset verfügt über einen fortschrittlichen optischen Ausrichtungsprozess, um eine hohe Genauigkeit in jeder Verarbeitungsphase sicherzustellen. Diese Funktion ist hochauflösend und kann Ausrichtungsfehler automatisch erkennen und korrigieren. Es wurde auch entwickelt, um Zeitaufwand bei Ausrichtung und Positionierung zu minimieren und einen effizienteren Workflow zu ermöglichen. Schließlich ist das Modell in der Lage, Inspektionen der Wafer auf Fehler oder Mängel durchzuführen. Dies geschieht mit einem hochauflösenden optischen Mikroskop, das kleinste Anomalien und Abweichungen von den idealen Spezifikationen erkennen kann. Insgesamt ist SHIBAURA KP4500BG eine fortschrittliche andere Waferbearbeitungsanlage mit einer Reihe von Funktionen, die Genauigkeit und Präzision in allen Aspekten des Prozesses gewährleisten sollen. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Wafern mit hoher Wiederholbarkeit und Genauigkeit abzuscheiden, zu fräsen, zu ätzen und zu inspizieren, was es zu einem zuverlässigen Partner für jede Halbleiterindustrie macht.
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