Gebraucht SIMCO Aerostat XC #9283565 zu verkaufen
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SIMCO Aerostat XC ist eine leistungsstarke und vielseitige Waferbearbeitungsanlage für eine Vielzahl von Anwendungen. Aerostat XC ist ein Multi-Tank-System, das eine vollständige thermische zyklische Steuerung der Waferbearbeitung bietet, von Anfang bis Ende eines thermischen Zyklus für eine gleichmäßige Waferqualität und Produktionsausbeute. Das Gerät ist mit mehreren Tanks ausgestattet, die jeweils eine präzise Regelung von Temperatur, Druck und Atmosphäre ermöglichen. Mit einer breiten Palette fortschrittlicher Funktionen bietet SIMCO Aerostat XC eine unübertroffene Leistung in Funktionen wie Ultra-Low-Flow und High-Mass-Flux-Wärmeströme sowie anspruchsvolle Fluidsimulationsmöglichkeiten. Das Design von Aerostat XC ermöglicht eine hochpräzise Waferbearbeitung. Die Maschine ist mit digitalen Proportionalventilen ausgestattet, mit denen Temperatur, Druck und Atmosphäre in jedem Verarbeitungsbehälter exakt gesteuert werden. Die Proportionalventile sind in der Lage, über den gesamten Temperaturbereich ein stabiles Temperatur-Druck-Verhältnis aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus verfügt SIMCO Aerostat XC über ein automatisiertes Steuerwerkzeug, das die zeitliche Abfolge jedes Prozesses optimiert und gleichzeitig sicherstellt, dass thermische Strömungsparameter wie die Durchflussmenge während des gesamten Prozesses einheitlich bleiben. Aerostat XC verfügt zudem über eine Reihe fortschrittlicher thermischer Simulationsmöglichkeiten, die eine präzise Steuerung des thermischen Profils eines Substrats im Laufe eines Prozesszyklus ermöglichen. Die thermischen Simulationsmöglichkeiten ermöglichen es SIMCO Aerostat XC, die Attribute eines bestimmten Wafers vorherzusagen, die den größten Einfluss auf die Prozessleistung haben, wie Wärmeverteilung, Temperaturgleichmäßigkeit und Temperaturgradienten. Dadurch kann das Asset die Parameter genau steuern, die die Qualität des Wafers optimieren. XYZ Integrated Systems hat die Performance von Aerostat XC durch die Implementierung fortschrittlicher dynamischer Balance-Algorithmen weiter verbessert. Die dynamischen Balance-Algorithmen ermöglichen es SIMCO Aerostat XC, auch bei hochdynamischen Temperaturänderungen automatisch die erforderliche Temperaturgleichförmigkeit aufrechtzuerhalten. Dies reduziert die Zykluszeit, erhöht die Leistung und sorgt für eine gleichmäßige Wärmeverteilung über das gesamte Substrat. Aerostat XC ist das perfekte Werkzeug für Waferbearbeitungsanwendungen. Mit seinen leistungsstarken Funktionen und erweiterten Funktionen ist SIMCO Aerostat XC eine unverzichtbare Lösung für eine effiziente und qualitativ hochwertige Waferbearbeitung.
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