Gebraucht SONOMAXS MH2014D / FC2025 #9296306 zu verkaufen
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SONOMAXS MH2014D/ FC2025 ist eine multifunktionale, multifunktionale, andere Waferbearbeitungsanlage zur Herstellung integrierter Schaltungen, mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) und optischer Dünnschichtkomponenten. Es ist in der Lage, Silizium, Galliumarsenid und polykristalline Siliziumscheiben mit minimaler Umgebungskontamination zu verarbeiten. Zu den Hauptkomponenten des Systems gehören die Substrat-Fördereinheit, der Substrat-Handler, der Hauptrahmen, Waferträger und die optische Projektions-/Belichtungsmaschine. Das Substrat-Förderwerkzeug ist so konzipiert, dass die Wafer vom Lastanschluss zum Substrat-Handler bewegt werden. Es verfügt über eine dreiachsige lineare Stufe, die eine präzise Bogen- und Wafer-Positionierung in drei Dimensionen gewährleistet. Der Substrate Handler kann bis zu 20 Waferträger aufnehmen. Er besitzt einen Drehmotor, der bis zu 600 U/min rotieren kann. Darüber hinaus sorgen die Führungsstangen und die Dichtplatte für eine präzise und sichere Handhabung von Wafern. Der Hauptrahmen besteht aus einer Kombination aus Edelstahl und gehärteten legierten Stählen für Haltbarkeit. Es beherbergt alle Asset-Komponenten und ist für die Abschirmung gegen Verschmutzung sowie Wärmeableitung im gesamten Modell entwickelt. Die Waferträger halten die Wafer sicher, während sie vom Substrathandler und in der gesamten Prozesskammer bewegt werden. Die Waferträger sind so ausgelegt, dass Wafer-Handling und Verschmutzung minimiert werden. Die optische Projektions-/Belichtungseinrichtung wurde entwickelt, um Photolithographie, Messtechnik und E-Strahl-Belichtung durchzuführen. Es verwendet eine sCMOS-Kamera (scientific Complementary Metal Oxide Semiconductor) und einen faseroptischen Laser für die Präzisionsbildgebung. Der Belichtungsprozess wird durch Scansteuerungssoftware exakt gesteuert. Zusätzlich liefert der faseroptische Laser einen leistungsstarken Ausgang für die Präzisionsbildgebung. Schließlich wird das System über eine Windows-basierte grafische Benutzeroberfläche betrieben. Es umfasst vorkonfigurierte Prozessrezepte sowie die Fähigkeit, sie anzupassen und zu bearbeiten, um bestimmte Branchenanforderungen zu erfüllen. Das Gerät ermöglicht auch den Fernzugriff und die Steuerung, um vorhandene und Fernüberwachung der Prozesse der Maschine zu ermöglichen. Abschließend ist MH2014D/ FC2025 ein multifunktionales, multifunktionales, weiteres Waferbearbeitungswerkzeug, das für die Herstellung von integrierten Schaltungen, mikro-elektromechanischen Systemen (MEMS) und optischen Dünnschichtkomponenten entwickelt wurde. Es ist ein sehr vielseitiges Asset, das mit präzisen bildgebenden Funktionen und einem Temperatur- und Verschmutzungsregelungsmodell für einen zuverlässigen Betrieb ausgestattet ist und somit eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen darstellt.
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