Gebraucht STOELTING / TREK / WESTEK Triton 221 MIL #9267754 zu verkaufen

STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MIL ist eine Halbleiter-Wafer-Verarbeitungsanlage, die für komplexe Geräteanwendungen wie MEMS (microelectromechanical systems) und MEMS/CMOS (complementary metal-oxide-semiconductor) entwickelt wurde. TREK Triton 221 MIL ist in der Lage, Wafer bis zu einem Durchmesser von 8 Zoll/200 mm zu maskieren und zu ätzen und ist ein wichtiger Bestandteil einer breiten Palette fortschrittlicher Technologieentwicklungs- und Produktionsprozesse. WESTEK Triton 221 MIL besteht aus einem Hauptschrank, in dem Motor, Stromversorgung und Steuerungsmodule untergebracht sind, und einer Kammer mit einem maßgeschneiderten Vakuumsystem. Es ist mit einem großformatigen Roboterlader ausgestattet, der Wafer bis 200 mm handhaben kann und gleichzeitig eine überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit beweglicher Komponenten bietet. Die Steuerung des Geräts erfolgt über eine PC-Schnittstelle mit einer „intuitiven“ grafischen Benutzeroberfläche (GUI), die einen einfachen Zugriff auf alle wichtigen Maschinenfunktionen ermöglicht. Das Werkzeug schließt auch verschiedene einheitliche Prozessoptionen ein, eine Vielfalt der Halbleitergerätverarbeitungsbedürfnisse zu erleichtern. Triton 221 MIL bietet außergewöhnliche Leistung mit verschiedenen Ätzoptionen wie Reactive Ion Etching (RIE) und Deep Reactive Ion Etching (DRIE). Diese bieten Ätzraten bis zu 1 Mikron/min bei höheren Temperaturen und höherer Präzision (bis zu 1 Angstrom-Auflösung). Der Ätzprozess nutzt Prozessgase und eine voll programmierbare Vorspannung für konformes Ätzen, die das Ätzen komplexer Formen mit überlegener Gleichmäßigkeit ermöglicht. Die optionale Maskierungsressource, die in STOELTING Triton 221 MIL integriert ist, ermöglicht eine effiziente Maskierung von Wafern für MEMS und MEMS/CMOS Strukturen. Es verfügt über eine automatische Ausrichtung Asset, das Markierungswerkzeuge für die konsistente Anwendung von Photoresist-Material genau ausrichten kann. Das Maskierungsmodell enthält auch eine DVD-Auto-Scraping-Fähigkeit, die unerwünschte Fotolack vor dem Ätzen entfernt. STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MIL ist auf höchste Zuverlässigkeit mit einer Reihe von Sicherheitssensoren zur Erkennung von Abschaltbedingungen sowie einer Kammerdrucküberwachungseinrichtung ausgelegt, die das Gerät bei Überschreiten eines Sollwertes automatisch abschaltet. Das System enthält auch ein Wartungsprogramm, das so geplant oder eingerichtet werden kann, dass es in regelmäßigen Abständen Warnmeldungen auslöst, um sicherzustellen, dass die Einheit in einem guten Funktionszustand gehalten wird. Insgesamt ist TREK Triton 221 MIL eine ausgezeichnete Wahl als Halbleiterwaferbearbeitungsmaschine, die genaue und zuverlässige Ätz- und Maskierprozesse für komplexe Geräteanwendungen bietet. Das Tool ist einfach zu bedienen und zu warten, und die optionale Maskierungsressource macht es zu einer idealen Wahl für MEMS/CMOS Entwicklungs- und Produktionsprozesse.