Gebraucht STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV MIL #9007161 zu verkaufen
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ID: 9007161
SMT system
Stainless steel mesh belt, 18" usable
Upper and lower prewash spray bars from 10 HP heated wash pump
(4) Upper and (4) lower wash spray bars from same 10 HP heated wash pump
Stage 1:
Upper SST Airknife and SST lower Airknife supplied by first 15 HP blower in dry section
Stage 2:
Wet isolation with upper and lower spray bar from 10 HP heated rinse pump
Stage 3:
SST upper Airknife and SST lower Airknife from first 15 HP blower in dry section
(3) Upper and (3) lower spray bars from 10 HP heated rinse pump
Upper and lower final rinse spray from DI supply
15 HP Turbine blower with (2) upper and (1) lower SST Airknives
15 HP Turbine blower with (2) upper and (2) lower SST Airknives
Upper IR heater penel with temperature controller
460 V, 3 phase, 180 A.
STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV MIL ist eine umfassende, leistungsstarke Waferbearbeitungsanlage, die speziell für die fortschrittliche Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Das System verfügt über einen 4-achsigen Drehtisch, eine Andockstation für jeweils bis zu 10 Wafer und eine patentierte Wafer-Detektionstechnologie zur Vor-Ort-Untersuchung der Waferoberfläche. TREK Triton IV MIL wurde für maximale Effizienz und maximalen Durchsatz entwickelt und nutzt modernste Technologie, um eine automatisierte thermische Waferbearbeitung zu ermöglichen. Der rotierende Tisch ermöglicht die Drehung der Wafer, die präzise und wiederholt die Heizung steuert. Die Dockingstation ist mit Temperatur- und Drucksensoren ausgestattet, die die Wafertemperatur kontinuierlich überwachen und sicherstellen, dass sie während jedes Zyklus gleichmäßig bleibt. Die patentierte Wafer-Detektionstechnologie umfasst eine Reihe von Photodiodensensoren und Leuchtdioden (LEDs), die die Waferoberfläche abtasten und eventuelle Auffälligkeiten erkennen. Das Gerät ist mit einer breiten Palette von Anpassungsoptionen konzipiert, so dass der Benutzer die Verarbeitungsparameter auf spezifische Bedürfnisse und Ziele abstimmen kann. Dies beinhaltet eine umfassende Auswahl an Materialien und Gasen, um nahezu jede Waferbauanforderung zu erfüllen. Die Flexibilität von WESTEK Triton IV MIL ermöglicht es Anwendern, den Prozess auf ihre spezifischen Produktanforderungen abzustimmen. Triton IV MIL bietet auch automatisierte Datenerfassungs-, Analyse- und Maschinenüberwachungsfunktionen, die wertvolle Informationen über die Werkzeugleistung und -genauigkeit liefern. Die Daten der Temperatur- und Drucksensoren werden während des gesamten Prozesses aufgezeichnet und analysiert und liefern detaillierte Informationen über die erreichte Temperaturgleichförmigkeit und etwaige Abweichungen oder Abweichungen im Prozess. Die Systemüberwachungsfunktion bietet ständiges Feedback aus dem Asset und sorgt für optimale Leistung und Genauigkeit sowie Sicherheit. STOELTING Triton IV MIL stellt den Höhepunkt von Wafer-Verarbeitungssystemen dar und bietet überlegene Leistung, Flexibilität, Genauigkeit und Datenverwaltungsfunktionen. Mit der Fähigkeit, jede Art von Wafer zu verarbeiten, ist dieses umfassende Modell ein unschätzbares Werkzeug für jeden fortschrittlichen Halbleiterherstellungsvorgang.
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