Gebraucht STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV #9008264 zu verkaufen

STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV ist eine hochwertige, industrielle Prozessausrüstung für die Herstellung von Wafern. Dieses System ist eine vollautomatische, modulare und flexible Lösung für die heutigen Anforderungen an die Verarbeitung von Halbleiterscheiben. TREK Triton IV kann für die chemische mechanische Planarisierung (CMP), chemische Dampfabscheidung (CVD), Diffusion, Etch, Ionenimplantation, Lithographie, Marinieren, Metrologie, Plasma/Vakuum-Abscheidung, Spin-on Dielektrika und Wafer-Sondierung verwendet werden. Darüber hinaus ist dieses Gerät für den Betrieb in einer Umgebung von bis zu Reinraum Klasse 1 ausgelegt, so dass es für anspruchsvolle Prozesse geeignet ist. WESTEK Triton IV verfügt über eine leistungsstarke integrierte Steuerungsmaschine, mit der Benutzer das Tool über die intuitive grafische Benutzeroberfläche programmieren und überwachen können. Das Control Asset basiert auf offenen Standards und eignet sich somit für eine Vielzahl von Softwarepaketen. Das integrierte Regelungsmodell bietet eine umfassende, schrittweise Prozessflusssteuerung mit aktiv gemanagtem Prozessverfolgen. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass die Prozessparameter während des gesamten Prozesses genau eingehalten werden, was sehr zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Dieses Gerät bietet zudem bis zu fünf programmierbare Sollwerte, die es Anwendern ermöglichen, die chemischen und physikalischen Prozessbedingungen zu definieren, um die Prozessergebnisse zu optimieren. STOELTING Triton IV bietet eine Reihe von Umwelt- und Systemüberwachungsfunktionen. Dazu gehört eine temperaturgesteuerte Umgebung mit wählbaren Sollwerten, die je nach Art der verwendeten Rezeptur eingestellt werden können. Das Gerät nutzt auch die Echtzeit-Prozessüberwachung mit integrierten Gaserfassungsfunktionen, damit Benutzer die Prozessbedingungen an die verwendete Anwendung anpassen können. Darüber hinaus verfügt Triton IV über mehrere Sicherheitsfunktionen, einschließlich Alarmsysteme und manuelle Überschreibungen, um die Sicherheit des Benutzers bei unerwarteten Prozessereignissen zu gewährleisten. Diese Maschine ist für eine breite Palette von Wafergrößen von 200mm bis 300mm ausgelegt. Es ist mit einem internen Vakuumkrümmer für die Vollwaferbearbeitung oder bis zu 12 einzelnen Prozessmodulen für die Split-Wafer-Verarbeitung ausgestattet. Das Werkzeug ist auch mit den meisten Standard-Prozesskammern kompatibel, einschließlich Lastschlösser, Vorausrichter und Nachausrichter. Schließlich wird STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV mit einer Reihe von Service- und Supportpaketen geliefert, um sicherzustellen, dass Benutzer die technische Unterstützung erhalten, die sie bei der Installation, dem Betrieb, der Wartung und der Reparatur benötigen.