Gebraucht STOELTING / TREK / WESTEK Westkleen Formula 2RS3 #197438 zu verkaufen

ID: 197438
Weinlese: 1991
Aqueous cleaning machine 1991 vintage.
STOELTING/TREK/WESTEK Westkleen Formula 2RS3, oft auch als WestKleen bezeichnet, ist eine Waferbearbeitungsanlage von TREK, einem Hersteller von hochpräzisen und zuverlässigen Waferbearbeitungsgeräten. WestKleen wurde entwickelt, um maximale Leistung zu bieten, wenn es in Wafer-Verarbeitungsumgebungen verwendet wird. Das System nutzt fortschrittliche optische Detektionstechnologie und einen Festpositions-Reinigungsprozess, um Wafer in einem einzigen Zyklus gründlich zu reinigen. Der komplette zweistufige Prozess ermöglicht es der Einheit, immer komplexere Halbleiteroberflächenstrukturen zu reinigen. Ein Front-End-Bedienmodul bietet eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche für die Bedienung und Überwachung der Maschine, die die Programmierung einfach und effizient macht. WestKleens Reinigungsverfahren in fester Lage gewährleistet zuverlässige, wiederholbare Waferreinigungsergebnisse, unabhängig von der Wafergeometrie, durch eine präzise Steuerung der chemischen Abgabe- und Spülsysteme. Das chemische Abgabewerkzeug besteht aus zwei Präzisionsdosierpumpen, zwei Dosierlanzen und einer Revolverdüse, die eine präzise chemische Einspritzung während der Reinigung ermöglichen. Zwei unabhängige Hochdruckspülsysteme bieten Lösungsmittelabgabe und Spülfähigkeit. Das Asset verfügt auch über ein proprietäres optisches Detektionsmodell, das den Reinigungsstatus jedes Wafers kontinuierlich misst. Dieses Gerät bestimmt, wann jeder Wafer sauber ist und kann den Bediener darauf aufmerksam machen, ob Wafer auch nach weiteren chemischen Abgabe- oder Spülzyklen unrein bleiben. WestKleen hat auch ein Hochleistungsoblatentransportsystem. Es beherbergt acht rohrförmige Wafer-Transportbänder, die mehrere Wafer mit hoher Geschwindigkeit zu jeder Station tragen. Die Transporteinheit ist für den Betrieb bei bis zu 800 Bedingungen/Stunde mit einer Gesamtlaufzeit von weniger als 5 Sekunden pro Wafer ausgelegt. Der WestKleen ist auch mit einer fortschrittlichen Sicherheitsmaschine ausgestattet, die Sensoren zur Erkennung von Fremdkörpern enthält und einen dreistufigen Sicherheitsschutz bietet. Das Werkzeug kann nur betrieben werden, wenn alle Schutzabdeckungen geschlossen und alle Sicherheitssensoren aktiviert sind. TREK Westkleen Formula 2RS3 ist eine revolutionäre Waferbearbeitungsanlage, die einen zuverlässigen, wiederholbaren und präzisen Reinigungsprozess bietet. Es wurde entwickelt, um maximale Leistung und Sicherheit für Waferbearbeitungsanwendungen zu bieten.
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