Gebraucht TEC MAIN4-R #293659488 zu verkaufen
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TEC MAIN4-R ist eine hochpräzise, leistungsstarke Waferbearbeitungsanlage für die Verarbeitung von Substraten bis 200 mm Durchmesser. Es bietet einen vollautomatischen Prozess, der eine Reihe modernster Technologien umfasst, wie Kantenextraktion, Vakuumentgasung und Oberflächenreinigung. Die einzigartige Vakuumkammer, der Low-Profile-Vakuumring und die vierteilige Kühlfangkonfiguration des Systems liefern eine überlegene Vakuumumgebung (10-6 Torr), die für eine optimale Verarbeitung von Substraten erforderlich ist. Die erweiterten Fähigkeiten des Geräts machen es ideal für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen, einschließlich: Würfeln von Silizium, Silizium-auf-Glas, polymerbasierten und Dünnschichtsubstraten; Lithographie; Ätzen; und mehr. Es ist in der Lage, hochpräzise, wiederholbare und defektarme angetriebene Prozesse vom Rand bis zum Kern durchzuführen. Die Kammer arbeitet unter der Aufrechterhaltung von Präzisionstemperatur-Back- und Enthärtungssystemen, um eine optimale Sicherheit zu gewährleisten. Eine optionale Nass-/Trockenreinigungsmaschine ist verfügbar, um eine hocheffiziente Partikelentfernung zu gewährleisten. Die geschlossene Roboterkammer des Werkzeugs ist für maximale Prozesssicherheit, schnellen Austausch von Wafer-Chargen und einfache Wartung ausgelegt. Die Automotive-Steuerungen ermöglichen einen reibungslosen Betrieb, während die Echtzeit-On-Board-Überwachungs- und Steuerungssysteme höchste Genauigkeits- und Sicherheitsstandards bieten. Mit vollautomatisiertem Wafermanagement und leistungsstarker Managementsoftware ist MAIN4-R in der Lage, kontinuierliche Hochgeschwindigkeitsabläufe 24/7 durchzuführen. Die robusten Funktionen des Asset werden durch seine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche ergänzt, die eine intuitive und leistungsstarke Plattform zur Fernüberwachung und -steuerung bietet. Benutzerdefinierte Parameter sorgen für hochwertige Ergebnisse, während die leistungsstarke Leistungsbewertungssoftware eine effiziente Überwachung und Multitasking ermöglicht. Mit TEC erstklassigen Support und Service ist TEC MAIN4-R die ideale Lösung für alle Anforderungen an die Waferbearbeitung. Es ist zuverlässig, robust und bietet höchste Genauigkeit für eine Reihe von Waferprozessen.
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