Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP eMax CT #9371704 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9371704
Wafergröße: 12"
Dielectric etcher, 12"
Process: Cu
Wafer type: Notch
Carrier: FOUP
(3) Load ports
(4) Chambers
TDK Corrosion resistant loader module
Alcatel IPUP
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Facility plate:
N2 Regulator
Manual valve
Pressure gauge
Loadlock pressure monitor:
Gauge convectron: 1MTORR-1000TORR 1 / 4FVCR DNET
Transfer pressure monitor:
Gauge convectron: 1MTORR-1000TORR 1 / 4FVCR DNET
5 SLM N2 MFC
Signal towers:
Kit
4 Lights
Devicenet light tower
Cable:
Monitor cable, 15 feet / 50 feet
Pump cable, 75 feet
Monitors:
Monitor 1: Flat panel with keyboard
Monitor 2: Remote flat panel
Chamber configuration:
Process kits: Qt / Si
Gas inject: 3.5 Anodized SGD
Chamber O-Ring: Chamraz 513
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1600M Turbo pump
RF Match: DAIHEN
RF Generator: ENI GHW 50
EPD Windows: Quick remove released quartz
CM Test port: 1/2 VCR and KF25 Dual
RGA Port: RGA port
Endpoint type: H.O.T Endpoint
Endpoint wavelength 1: CO 484 NM
Endpoint wavelength 2: CN 387 NM
Cathode temperature monitor
ESC Power supply: CT HV
RF Feed: Direct CT Cathode
Dry pump: EABARA-ESR80WN
Wall chiller: SMC-H2010
Cathode chiller: SMC-INR 496-003D
Coolant: HT110
ESC type: ESC, Assembly, 12" , Dual electrode, IA
Liner: CT Liner
Process gas box configuration:
Chamber A:
Gas name / MFC Type size
NF3 / FC-PN980CR1BA-100
CH3F / FC-PN980CR1BA-50
CH2F2 / FC-PN980CR1BA-50
O2 2000 / FC-PN980CR1BA-2000
O2 50 / FC-PN980CR1BA-50
O2 20 / FC-PN980CR1BA-20
N2 / FC-PN980CR1BA-200
CHF3 / FC-PN980CR1BA-200
CF4 / FC-PN980CR1BA-200
AR 300 / FC-DN780C-BA-300
Chamber B:
Gas name / MFC Type size
C4F6 / FC-PN980CR1BA-150
C4F8 / FC-PN980CR1BA-50
CO / FC-PN980CR1BA-500
CH2F2 / FC-PN980CR1BA-50
O2 2000 / FC-PN980CR1BA-2000
O2 50 / FC-PN980CR1BA-50
N2 / FC-PN980CR1BA-200
CHF3 / FC-PN980CR1BA-200
CF4 / FC-DN780C-BA-200
AR 300 / FC-DN780C-BA-300
Chamber C:
Gas name / MFC Type size
C4F6 / FC-PN980CR1BA-150
CH2F2 / FC-PN980CR1BA-50
O2 2000 / FC-PN980CR1BA-2000
O2 50 / FC-PN980CR1BA-50
O2 20 / FC-PN980CR1BA-20
N2 / FC-PN980CR1BA-200
CHF3 / FC-PN980CR1BA-200
CF4 / FC-DN780C-BA-200
AR 200 / FC-PN980CR1BA-200
AR 1500 / FC-PN980CR1BA-1500
Chamber D:
Gas name / MFC Type size
C4F6 / FC-PN980CR1BA-150
CH2F2 / FC-PN980CR1BA-50
O2 2000 / FC-PN980CR1BA-2000
O2 50 / FC-PN980CR1BA-50
N2 / FC-PN980CR1BA-200
CHF3 / FC-PN980CR1BA-200
CF4 / FC-PN980CR1BA-200
AR 200 / FC-PN980CR1BA-200
AR 1500 / FC-PN980CR1BA-1500.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP eMax CT ist ein spezialisierter Reaktor für die Photolackverarbeitung. Dieser ultraschnelle thermische Verarbeitungsreaktor ist ein fortschrittliches Werkzeug, das es Anwendern ermöglicht, von schnelleren Ätzzyklen, präzisen Temperaturregelungen und genauer thermischer Messung zu profitieren. Die Leitungswasserkühlung von AMAT Centura AP eMax CT ermöglicht eine minimale thermische Ausbreitung innerhalb der chemischen Ätzkammer und ermöglicht so eine hochpräzise Kontrolle der Wafertemperatur beim Ätzen. Mit Hilfe eines fortschrittlichen Closed-Loop Feedback Control Systems können Anwender einheitliche Temperaturen und Prozessdauern genau wie vorgeschrieben beibehalten. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wafer keinen unerwarteten Temperaturschwankungen ausgesetzt sind, die zu thermischen Schäden an den von ihnen bearbeiteten empfindlichen Materialien führen könnten. ANGEWANDTE MATERIALIEN Centura AP eMax CT ist auch mit einer fortschrittlichen Pulsed Excimer Source ausgestattet, die die schädliche Vergasung reduziert und die Erzeugung unerwünschter Nebenprodukte minimiert. Diese Funktion trägt dazu bei, dass der Ätzprozess konsistent und vorhersehbar bleibt. Die Quelle verfügt außerdem über einen unidirektionalen Luftstrom und eine schnelle Waferübertragungseinheit, um Partikelzahlen zu minimieren und Ausfallzeiten im Zusammenhang mit der Reinigung zu reduzieren. Neben den fortschrittlichen technologischen Fähigkeiten ist Centura AP eMax CT auch auf höchste Sicherheitsstandards ausgelegt. Seine robuste Sicherheitsüberwachungsmaschine ist in der Lage, den Ätzprozess kontinuierlich zu überwachen und das Vorhandensein gefährlicher Leckagen zu erkennen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Reaktor sicher und zuverlässig funktionieren kann. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP eMax CT ist ein fortschrittlicher Ätzreaktor, der Anwendern eine zuverlässige, hochpräzise Steuerung ihrer Ätzzyklen ermöglicht. Seine leistungsstarken Funktionen helfen, die Wärmeausbreitung zu minimieren und die Ausgasung und Partikelanzahl zu reduzieren. Das Sicherheitsüberwachungswerkzeug sorgt dafür, dass das Ätzen kontinuierlich überwacht wird und ermöglicht es dem Anwender, eine zuverlässige, sichere und effiziente Photoresist-Ätzlösung zu nutzen.
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