Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II MxP R2 #9124577 zu verkaufen
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ID: 9124577
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Metal etcher, 8"
Orienter
(29) Slot elevator
(2) MxP R2 metal etch
(1) ASP
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MARK II MxP R2 Reaktor ist ein halbleiterspezifisches, batchartiges CVD-Werkzeug der nächsten Generation. Es bietet fortschrittliche, große Produktionsmöglichkeiten für monolithische und passivierte Substrate. Es wurde entwickelt, um den hohen Durchsatz und die geringen Fehleranforderungen für erweiterte Speicher- und Logik-Chip-Produktion zu erfüllen. Das Gerät verfügt über ein verbessertes hocheffizientes Design und mehrere unabhängig voneinander einstellbare Zonen, die eine präzise Regelung von Temperatur, Druck, Gasdurchflussraten, Puls-Timing und chemischen Reaktanten ermöglichen. Die verbesserte Temperaturregelung ermöglicht höhere Abscheideraten und eine bessere Prozesssteuerung. Mit einer erhöhten Anzahl von Sensoren kann das System die Prozesse schnell messen und auf maximale Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und höchste Erträge einstellen. Der AMAT P5000 Mark II MxP R2 Reaktor verfügt über einen automatischen Be- und Entlader. Dazu gehört eine verbesserte Merkmalserkennungsmaschine, die eine automatisierte Ausrichtung und Substrathandhabung ermöglicht. Das Werkzeug kann bis zu 30 Substrate in ihren Standard-elektrostatischen Spannfutterträgern aufnehmen. Das elektrostatische Spannfutter soll die Belastung des Wafers während der Verarbeitung reduzieren. Die Anlage bietet eine beeindruckende Auswahl an optionalen Funktionen, darunter einen Wasserkühler, einen Taumelmotor zur Verringerung des Kanteneffekts, ein Substrat-Dewar-Modell, eine beheizte Schildgaszufuhr, einen Glühentladungsreiniger und einen synchronisierten Farbmonitor. Mit APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II MXP R2 profitieren Geräte-Anwender von verbesserten Laufzeiten, höherem Durchsatz, geringeren Betriebskosten, verbesserter Bedienbarkeit und größerem Vertrauen in CVD-Prozesse. Es ist ein äußerst zuverlässiges und robustes Werkzeug zur Herstellung von defektfreien Hochleistungssubstraten. P 5000 MARK II MXP R2 ist ideal für eine Vielzahl von Produktionsanwendungen, wie DRAM, Flash-Speicher und Logik-Chips.
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