Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293600877 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist eine Single-Wafer Rapid Thermal Processing (RTP) -Ausrüstung, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Das System ist für hohe Leistung und Durchsatz ausgelegt und verfügt über mehrere Gasoptionen und die Fähigkeit, eine schnelle Mehrzyklus-Temperaturprofilierung bereitzustellen. Die RTP-Einheit verwendet als Prozesskammer ein Quarzrohr mit einem Graphit-Suszeptor, um die Wärme von einer elektrisch betriebenen Halogenlampe zum Wafer zu transportieren. Der Suszeptor ist mit einem Thermoelement und Gaseinspritzdüsen ausgestattet, die eine präzise Temperaturregelung und eine gleichmäßige Gaszufuhr bieten. Der Gasstrom wird durch einen Molekularstrahlschild geleitet und kann so programmiert werden, dass ein Präzisionsgemisch aus Umgebungsluft und Wasserstoff, Stickstoff oder anderen Prozessgasen entsteht. AMAT Producer GT verfügt zudem über eine Rückseitenkühlung, die sicherstellt, dass die Temperatur des Wafers nie einen kritischen Wert überschreitet. Es ist auch mit fortschrittlicher optischer Sensortechnologie ausgestattet, um die Rückseite der Prozesskammer zu überwachen und mögliche Überhitzungen des Wafers zu erkennen. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller GT verfügt auch über eine voll integrierte, intuitive Wafer-Handhabungsmaschine, um sicherzustellen, dass der Wafer sicher und fehlerfrei in das Quarzrohr hinein- und herausgleitet. Das Tool kann auch mit einer Reihe von Optionen konfiguriert werden, wie Beispielbe-/Entladeroboter, Wafer-Mapping-Systeme und Mehrzonen-Vorwärmsysteme. Darüber hinaus unterstützt Producer GT ein breites Spektrum an Prozesstemperaturen und schnellen thermischen Ausflügen und eignet sich somit ideal sowohl für Hochtemperatur-Prozessrezepte als auch für schonende Verarbeitung. Es bietet auch eine automatische Nivellierung der Suszeptor-Plattform, um sicherzustellen, dass der Wafer-zu-Suszeptor-Abstand innerhalb einer engen Toleranz gehalten wird. Das Asset verfügt über erweiterte Überwachungs- und Diagnosefunktionen, mit denen Prozessingenieure ihre Prozessrezepte fernüberwachen, die Umgebung und die Prozessergebnisse überwachen und das Modell von einem zentralen Ort aus steuern können. AMAT/APPLIED MATERIALS Hersteller GT verfügt auch über eingebaute Sicherheitsmerkmale wie eine Inertgasspülanlage, Überhitzungsschutz und automatische Abschaltung bei Stromausfall. Insgesamt ist AMAT Producer GT ein robustes, zuverlässiges System, das eine schnelle und effiziente RTP-Verarbeitungslösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet. Es ist für optimale Leistung und Genauigkeit konzipiert und eignet sich gut für eine Reihe von Anwendungen wie schnelles thermisches Glühen, schnelle thermische Oxidation und flache Verbindungsbildung.