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CVD System, 12" EFEM Transfer module AC Rack NPP Rack WIP Delivery type: OHT Pre-alignment and cente
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CVD System, 12" (3) Chambers EFEM: (4) Load ports Load port type: TDK / TAS300 / G1 (2) EFEM Robots
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Producer GT
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) system EFEM Load port PC (2) KAWASAKI 3NX510B-D001
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Producer GT
CVD System, 12" Process: Frontier etcher 2015 vintage.
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Producer GT
System, 12" EFEM O3 Rack AC Rack NPP Rack Main TM HARP USG Chamber Monitor (3) Part boxes (2) KAWASA
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AMAT / APPLIED MATERIALS
Producer GT
System, 12" (3) Chambers (4) Load ports Factory interface: 5.4 AMHS Configuration: OHT FE Computer
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