Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9400028 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT ist ein Spin-on-dielektrischer Abscheidungsreaktor, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist eine einstufige Ausrüstung, die eine schnelle Spin-on-dielektrische Abscheidung von hohen Seitenverhältnissen, dicken Materialfilmen für eine Reihe von Anwendungen ermöglicht, die Präzision, Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit erfordern. Der Reaktor verwendet ein Niederdruckverfahren mit einem nicht-reaktiven Inertgasträger wie Ar, N2 oder He. Die resultierende Abscheidungsschicht ist gleichmäßig und sehr zuverlässig. Die Abscheidung basiert auf der Herstellung von reaktivem „precursor“ -Material, das durch eine chemische Reaktion gebildet wird. Der Reaktor kann auf sehr niedrige oder sehr hohe Abscheideraten eingestellt werden und bietet eine breite Palette von Schrittabdeckung und Filmprofilsteuerung. Es enthält auch erweiterte Funktionen, um die Abscheidung von Linern zu minimieren und die gesamte Verarbeitungszeit erheblich zu reduzieren. Das System besteht aus mehreren Komponenten, darunter einer Mehrzonen-Abscheidekammer, einer Siliziumkarbid-Innenraumstützstruktur, einer reaktiven Gasfördereinheit und einem hochpräzisen Spin-on-dielektrischen Abscheidungsmechanismus. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie einen vollautomatischen schlüsselfertigen Prozess bietet, der eine kostengünstige und zuverlässige Abscheidung der Folienschicht ermöglicht. Die Kammer ist so konzipiert, dass sie eine hervorragende Schrittabdeckung und Filmprofilsteuerung bietet, mit einer Reihe von Optionen zur Regelung der Prozessparameter. Der Kammerinnenraum ist für die Abscheidungsgleichmäßigkeit und Stabilität mit mehreren Gasöffnungen, Vakuumsensoren und einem hochpräzisen Abscheidungsmechanismus optimiert. Die Siliziumcarbid-Innenraumstützstruktur ist für Temperaturen bis 2250 ° C ausgelegt und sorgt dafür, dass dünne Filme ohne Oberflächenverschmutzung abgeschieden werden. Das reaktive Gasförderwerkzeug bietet mehrere Förderkanäle für die präzise Abgabe der Reaktanden in der Kammer, wodurch ein konsistenter und zuverlässiger Abscheideprozess gewährleistet ist. Das Asset ist auch mit einem erweiterten Datenerfassungs- und Analyseportal ausgestattet, um detaillierte Berichte über verschiedene Parameter des Prozesses bereitzustellen, einschließlich Dicke, Abscheidungsrate und Partikelgröße. So können Anwender den Prozess einfach überwachen und steuern und eine qualitativ hochwertige Filmabscheidung gewährleisten. AMAT Producer GT ist eine leistungsstarke und zuverlässige Reaktorplattform, die eine hochpräzise Abscheidung von Dünnschichtmaterialien für eine Vielzahl kritischer Anwendungen bietet. Das Modell ist eine ideale Lösung für diejenigen, die eine schnelle, sichere und zuverlässige Abscheidung von Materialien mit enger Kontrolle der Schichtdicke, der Oberflächenrauhigkeit, der Profilkontrolle und anderer Prozessparameter benötigen.